肖丽君

作品数:5被引量:21H指数:2
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供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文主题:微流体系统聚二甲基硅氧烷微针制作方法针尖更多>>
发文领域:机械工程医药卫生理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《上海交通大学学报》《微纳电子技术》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
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一种以SU-8为流道材料的集成微流体流量传感器设计及制作被引量:1
《上海交通大学学报》2010年第11期1519-1523,共5页芦琦 陈翔 肖丽君 陈迪 
国家自然科学基金资助项目(20905047)
根据微流量传感器测热式原理,利用Comsol多物理场模拟仿真软件,对微流量传感器进行模拟仿真,分析了流量传感器的关键参数对其灵敏性的影响.在此基础上,设计了一种集成在微流体管道内的微流量传感器.以离子束刻蚀方法制作微电极,SU-8负...
关键词:流量传感器 负光刻胶 微流体 测热式原理 
基于狄恩流的微混合器的研究被引量:2
《微纳电子技术》2010年第1期38-44,共7页肖丽君 芦琦 陈翔 李以贵 陈迪 
所设计的微混合器是一种基于狄恩流的被动式混合器,该混合器的结构特点是由多个不同半径的弯曲管道双螺旋而成,中部通过"S"形管道将输入管道和输出管道相连。首先分析了狄恩流形成的机理及特点,再通过流体计算软件CFD-ACE+三维模拟并分...
关键词:微混合器 狄恩流 微管道 二次流 狄恩数 灰度值 
一种聚合物实心微针的制作方法被引量:7
《微纳电子技术》2009年第12期744-749,共6页肖丽君 陈翔 汪鹏 李以贵 陈迪 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2007AA04Z310)
为实现制作微针加工工艺简单、加工周期短及成本低的目的,提出了一种制作聚合物微针的新方法,这种聚合物微针的制作过程主要包括三个部分:微针原始模具的制作、聚合物微针模具的制作和浇铸工艺复制微针。通过KOH腐蚀液刻蚀晶面为{100}...
关键词:微针 原始模具 最终聚合物模具 针尖 针体 聚二甲基硅氧烷 
基于PDMS纳米粒子改性的热模压技术被引量:2
《功能材料与器件学报》2009年第5期441-446,共6页汪鹏 陈翔 肖丽君 朱军 陈迪 
国家863资助项目(2007AA04Z310);微米/纳米加工技术国家重点实验室基金(9140C7903060706)
介绍了一种采用纳米SiO2、TiO2改性聚二甲基硅氧烷(PDMS)的方法,研究了两种纳米材料SiO2、TiO2添加的比例对热压效果的影响及优化条件,并分析了其改性后的热膨胀系数及杨氏模量的变化,以及其改性后热压效果的提高进行了初步分析,最后用...
关键词:PDMS改性 纳米粒子 热模压 微流控 
微流体系统中微阀的研究现状被引量:9
《微纳电子技术》2009年第2期91-98,共8页肖丽君 陈翔 汪鹏 李以贵 陈迪 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2007AA04Z310);微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助项目(9140C7903060706)
依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。...
关键词:微流体系统 有源微阀 无源微阀 常闭型微阀 常开型微阀 
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