耿阳

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：复旦大学更多>>
发文主题：薄膜生长技术应用太阳电池原子层淀积更多>>
发文领域：电气工程更多>>
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原子层淀积技术应用于太阳电池的研究进展被引量：1
《半导体光电》2012年第3期307-313,360,共8页谢章熠 谢立恒 耿阳 孙清清 周鹏 卢红亮 张卫 
国家自然科学基金项目(51102048);复旦大学自主创新科研项目;复旦大学人才引进启动资金项目;ASIC与系统国家重点实验室面上项目(11MS017)
原子层淀积(ALD)是一种先进的纳米级薄膜生长技术,在微电子和光电子领域有着广泛的应用前景,尤其在提高太阳电池的光电转换效率方面正发挥越来越大的作用,很可能成为下一代太阳电池工艺中的重要方法。文章综述了近年来ALD技术在太阳电...
关键词：太阳电池 原子层淀积 薄膜生长 
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