霍庆松

作品数：2被引量：7H指数：2
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供职机构：山东建筑大学理学院更多>>
发文主题：ZNO薄膜磁控溅射表面形貌原子力显微镜衬底更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《山东建筑大学学报》更多>>
所获基金：博士科研启动基金山东省自然科学基金住房和城乡建设部科学技术计划项目更多>>
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Er/Yb/Al掺杂ZnO薄膜的结构与形貌研究被引量：3
《山东建筑大学学报》2011年第5期425-428,446,共5页韩利新 张宁玉 霍庆松 宋红莲 
住房和城乡建设部研究开发项目(2010-K4-15);山东建筑大学博士基金(010180921)
采用射频磁控溅射技术在室温下Si衬底上制备了ZnO薄膜和Er/Yb/Al掺杂的ZnO薄膜。通过对XRD的结构分析表明:未掺杂ZnO薄膜沿c取向性生长,掺杂ZnO薄膜偏离了正常生长,变为(102)取向性生长的纳米多晶结构;Er/Yb/Al掺杂的ZnO薄膜的晶粒尺寸...
关键词：射频磁控溅射 ZNO薄膜 掺杂 结构 形貌 
衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响被引量：5
《山东建筑大学学报》2010年第4期382-385,共4页霍庆松 张宁玉 付刚 李爽 刘小村 韩利新 张玉华 
山东省自然科学基金项目(ZR2009FM031);山东建筑大学博士基金项目(XNBS0921)
在压强为0.5Pa和0.7Pa的情况下,采用磁控溅射法分别在Si及石英玻璃衬底上生长ZnO薄膜。利用原子力显微镜对ZnO薄膜的表面形貌进行观察,研究了压强及衬底对薄膜表面形貌的影响。研究表明:在Si衬底上生长的ZnO薄膜,压强为0.7Pa时比压强为0...
关键词：ZNO薄膜 磁控溅射 原子力显微镜 表面形貌 
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