云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 张清

张清: 作品数：1被引量：3H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：盐城工学院更多>>; 发文主题：汽车散热器水管翅片压装组装机更多>>; 发文领域：机械工程更多>>; 发文期刊：《机械设计与制造》更多>>; 所获基金：江苏省新型环保重点实验室开放课题基金江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目江苏省“青蓝工程”基金江苏省自然科学基金更多>>

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氧化镓衬底基片化学机械抛光的研究被引量：3: 《机械设计与制造》2014年第8期89-91,共3页高翔周海张清张圆; 江苏省自然科学基金项目(BK2008197);江苏省"青蓝工程";江苏省新型环保重点实验室开放课题基金(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助(EML2012013);江苏省国际科技合作聘专重点项目;江苏省大学生创新训练计划项目的资助; 针对氧化镓衬底基片的化学机械抛光(CMP)进行了研究。介绍了氧化镓衬底基片的化学机械抛光工艺,讨论了影响抛光结果的因素:p H值、温度、压力、磨粒。通过大量的实验,最终确定了优化方案。提出先以粗抛光去除研磨后产生的划痕、凹坑等...; 关键词：氧化镓化学机械抛光工艺参数表面质量去除率