贺海东

作品数：2被引量：2H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国矿业大学更多>>
发文主题：织构超声振动光子能量激光光源脉冲激光更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>
发文期刊：《现代制造工程》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：国家重点实验室开放基金江苏省自然科学基金国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
双尺度织构的激光光刻工艺被引量：2
《强激光与粒子束》2013年第11期2900-2904,共5页贺海东 郝敬宾 赵恩兰 杨海峰 唐玮 朱华 钱济国 
国家自然科学基金项目(51105360;51205394);江苏省自然科学基金项目(BK2011218);中国博士后科学基金项目(2012T50522);中国博士后项目(2011M500966);江苏省光子制造科学与技术重点实验室开放基金项目(GZ200905);清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金项目(SKLTKF10B06)
搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统。利用干涉光刻系统,实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑。利用激光快速扫描器的二维扫描功能,通过控制激光功率和扫描速度,对曝光量和填充线条间距进行了优化...
关键词：双光束干涉 双尺度 表面织构 激光光刻 
激光干涉光刻技术应用概述
《现代制造工程》2012年第6期1-5,共5页贺海东 杨海峰 
国家自然科学基金项目(51105360);江苏省自然科学基金项目(BK2011218);清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金项目(SKLTKF10B06)
激光干涉光刻作为一种新兴的光刻技术,具有设备结构简单、价格低廉、高效率、高分辨率和大视场曝光等特点。介绍通过激光干涉光刻产生的一维光栅结构、二维网格结构以及二维点阵结构在生物传感、太阳能电池和光子晶体等领域的应用前景。
关键词：激光技术 光刻 纳米结构 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部