激光光刻

作品数：60被引量：153H指数：7
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“激光光刻技术”专题前言
《中国激光》2024年第12期1-2,F0002,共3页陈岐岱 匡翠方 曹耀宇 陈世祈 
集成电路产业是现代信息社会的基石,其飞速发展与其制造工艺——光刻技术的进步密不可分。随着人工智能、光量子芯片等信息技术的发展,激光光刻凭借非接触式加工方式、高分辨率、低成本等优势,已成为制备定制化、功能化、集成化精密元...
关键词：人工智能 信息技术 激光光刻 集成电路产业 光刻技术 定制化 精密元器件 光量子 
基于光纤传感航天器神经网络与数字孪生研究
《仪表技术与传感器》2024年第5期12-18,共7页范丽 胡泽阳 武丹 梁纪秋 胡夏芬 张芸山 谢久富 
装备预研项目(2021-0222/YYQT0222);东方红航天预研项目(2022330501000146K)。
文中设计了一种掺杂Al_(2)O_(3)、Y_(2)O_(3)、P_(2)O_(5)的新型石英光纤,制作的光纤成品纤芯折射率类线性分布。通过飞秒激光直写技术,在光纤上刻写出光纤Bragg光栅,制作出光栅串。将多根光栅串布设在航天器卫星模型上,形成航天器智能...
关键词：光纤传感 数字孪生 飞秒激光光刻 智能感知 BP神经网络 
石墨烯微超级电容的制备和光伏组件储能性能被引量：1
《广州化学》2024年第1期22-27,I0002,共7页胡光强 陈希 
国家自然科学资金面上项目(项目编号11974247)。
采用滴注法制备了氧化石墨烯薄膜进行激光光刻,通过显微观察证实了还原态氧化石墨烯的生成,根据薄膜的方阻测试确定了最优的光刻参数。然后,在非晶硅组件电池的背面制备氧化石墨烯薄膜,光刻出平面叉指状电极。5个单节微超级电容的超薄...
关键词：光伏储能 激光光刻 石墨烯 微超级电容 高工作电压 
全息镭射纸在烟包印刷中的平整度控制研究
《印刷质量与标准化》2023年第2期3-7,共5页孔秀英 
众多因素影响着全息镭射纸的平整度,本文通过实验从几个方面对影响因素进行分析研究。全息镭射纸是将激光光刻形成的全息图案,依照印刷图文制版,在塑料薄膜上进行涂布模压镀铝(或介质)形成转移膜,再与纸通过复合转移而生成的纸。全息镭...
关键词：镭射纸 烟包印刷 包装纸 外观色泽 包装材料 激光光刻 平整度控制 全息 
芬兰“不务正业”的图书馆
《特区教育（中学生）》2023年第3期79-79,共1页青山 
在芬兰的赫尔辛基,当地政府花了10年时间,耗资9800万欧元,建了一座图书馆:Oodi(意为颂歌)。图书馆免费向人们开放,但它只有10万册左右的藏书,堪称是“不务正业”的图书馆。原来,它建立之初的理念是:为市民和游客提供一个自由空间。在此...
关键词：三维打印 图书馆 激光光刻 赫尔辛基 自由空间 手术室 医学生 藏书 
劳埃德式紫外激光干涉光刻实验
《物理实验》2023年第3期22-28,共7页钟晓岚 宋佳奇 李晓苗 姚旭 严琪琪 金硕 
北京航空航天大学研究生教育与发展研究专项基金资助(No.JG2022017);北京高校本科教学改革创新项目资助(No.202210006003)。
搭建了劳埃德式紫外激光干涉光刻系统,利用劳埃德镜产生双光束分波阵面干涉,通过精确调整、控制光束的入射角,设计了曝光图样.基础实验部分可以完成一维光栅制备,分析光栅周期与波长、入射角的关系;在拓展实验中,制备设计部分可以完成...
关键词：劳埃德镜 紫外激光干涉 激光光刻 微纳米技术 
芬兰“不务正业”的图书馆
《思维与智慧》2022年第27期15-15,共1页青山 
在芬兰的赫尔辛基,当地政府花了10年时间,耗资9800万欧元,建了一座图书馆:Oodi(意为颂歌)。图书馆免费向人们开放,但它只有10万册左右的藏书,堪称是“不务正业”的图书馆。原来,它建立之初的理念是:为市民和游客提供一个自由空间。在此...
关键词：三维打印 图书馆 激光光刻 赫尔辛基 自由空间 手术室 医学生 藏书 
准分子激光光刻光源关键技术及应用被引量：3
《激光与光电子学进展》2022年第9期327-344,共18页江锐 
准分子激光光源在光刻、工业制造、医疗和科研领域都有广泛的应用,特别是其波长、线宽、能量与剂量等指标在光刻领域有很大的优势,可以为光刻机带来更小的图像分辨率和更均匀的曝光图形。现阶段准分子激光器已用于7 nm光刻工艺,并日趋完...
关键词：光学设计与制造 准分子激光 光刻 能量与剂量 中心波长与线宽 
芬兰“不务正业”的图书馆
《做人与处世》2022年第1期60-60,共1页青山 
在芬兰的赫尔辛基,当地政府花了10年时间,耗资9800万欧元,建了一座图书馆:Oodi(意为颂歌)。图书馆免费向人们开放,但Oodi却只有10万册藏书,堪称是“不务正业”的图书馆。原来,Oodi建立之初的理念是:为市民和游客提供一个自由空间。在此...
关键词：3D打印 图书馆 激光光刻 赫尔辛基 自由空间 手术室 医学生 藏书 
中科院苏州纳米所5nm激光光刻研究获进展
《智能城市》2020年第13期86-86,共1页
苏州纳米所张子旸团队基于光热反应机理设计开发了一种新型三层堆叠薄膜结构。在无机钛膜光刻胶上,采用双激光束(波长为405nm)交叠技术,通过精确控制能量密度及步长,实现了1/55衍射极限的突破(NA=0.9),达到了最小5 nm的特征线宽。
关键词：光刻胶 线宽 能量密度 衍射极限 薄膜结构 反应机理 堆叠 精确控制 
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