谷永先

作品数：4被引量：13H指数：3
导出分析报告
供职机构：中国电子科技集团公司第三十八研究所更多>>
发文主题：微机电系统气体流量传感器玻璃底板硅膜加速度传感器更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》《传感器与微系统》《锻压装备与制造技术》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于MEMS技术热温差式流量传感器的设计与标定被引量：6
《传感器与微系统》2019年第2期102-104,共3页胡梦飞 刘亚伟 杨露露 谷永先 胡国俊 吕品 
设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括中间热源电阻器、上下游测温电阻器及环境电阻器。热源电阻器和上下游测温电阻器悬空布置,热源的工作模...
关键词：微机电系统技术 流体传热式 MATLAB软件 标定 
热式MEMS流量传感器的设计及测试被引量：2
《锻压装备与制造技术》2017年第4期32-36,共5页胡梦飞 杨露露 刘亚伟 谷永先 胡国俊 吕品 
根据已有的热式MEMS气体微流量传感器芯片的各部分热敏电阻热串扰现象严重,造成很大的测量误差,改进设计了一种MEMS热式流量传感器,将加热电阻和上下游测温电阻采用悬臂梁隔离结构,并相互隔离,有效的避免了热膜流量传感器各部分热敏电...
关键词：热串扰 微机电系统 悬臂梁 恒温差 模数转换 串口通信 
热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定被引量：3
《仪表技术与传感器》2016年第8期18-20,共3页谷永先 邬林 曾鸿江 胡娜娜 钱江蓉 
设计了一种数字输出热隔离式MEMS气体质量流量传感器,芯片加热电阻与测温电阻完全热隔离,流量值采用UART串口输出。分析了恒温差电路、上下游测温电路、HX711模数转换电路及STC15W408AS单片机电路的设计。针对制造中存在的性能差异,设...
关键词：微机电系统 数字输出 热隔离 气体质量流量 标定 
热隔离式MEMS气体质量流量传感器设计被引量：3
《传感器与微系统》2016年第6期72-74,共3页谷永先 曾鸿江 邬林 胡娜娜 钱江蓉 
研制了一种热隔离式微机电系统（MEMS）气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构,间隔240μm。对恒温差电路的设计要点进行了分析并制作了系统电路。测试拟合了传感器输出电压随气体流量的关系曲线,并对...
关键词：微机电系统 热隔离 气体质量流量传感器 恒温差 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部