刘晗

作品数：3被引量：7H指数：1
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供职机构：西安交通大学更多>>
发文主题：瑕疵刀位点疵点CVDZNO单晶更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信金属学及工艺电气工程更多>>
发文期刊：《机床与液压》《压电与声光》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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瑕疵刀位点几何特征分析及其对插补指令的影响
《机床与液压》2023年第16期1-7,共7页吕盾 刘晗 李伯阳 宋彦宏 刘辉 
国家自然科学基金面上项目(52175483,51975462)。
由于CAD曲线建模的误差以及CAM算法的精度问题,刀位点中存在着瑕疵。通过对典型加工零件的刀位数据点进行分析,归纳瑕疵的类型,分析瑕疵的几何特征,研究瑕疵对数控插补指令的影响。结果表明:瑕疵类型包括密集、突起、折返、重复加工和...
关键词：瑕疵刀位点 几何特征 插补指令 加工效率 表面质量 
基于CVD自组装生长氧化锌半导体纳米结构的光电导紫外探测器研究
《人工晶体学报》2014年第8期1901-1905,共5页刘晗 赵小龙 彭文博 贺永宁 
中央高校基本科研业务费专项资金(xkjc2014011)
报道了一种基于自组装生长ZnO纳米结构的光电导型紫外探测器。首先,在石英衬底上制备银叉指电极,然后溅射ZnO纳米薄膜形成一种共面光电导型金属-半导体-金属(MSM)结构,再利用低压CVD生长方法进行ZnO纳米线的原位生长,从而在器件顶部形成...
关键词：氧化锌纳米结构膜 自组装 紫外探测 
声表面波ZnO薄膜紫外探测器的响应机制研究被引量：7
《压电与声光》2014年第1期12-15,18,共5页彭文博 贺永宁 赵小龙 刘晗 康雪 文常保 
国家自然科学基金资助项目(No.60876038)
通过射频磁控溅射法在以128°Y-X LiNbO3为压电衬底的声表面波(SAW)小波器件上沉积了一层ZnO薄膜作为紫外光敏感膜,利用网络分析仪对所制备探测器的紫外光响应特性进行了测试。实验结果表明,在波长365nm、光强210μW/cm2的紫外光照射下...
关键词：声表面波 ZNO薄膜 氧气吸附与解吸附 本征缺陷 
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