秦建伟

作品数：4被引量：5H指数：1
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供职机构：中国工程物理研究院更多>>
发文主题：钒磁控溅射沉积高功率脉冲铝合金表面V更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊：《功能材料》《稀有金属材料与工程》更多>>
所获基金：表面物理与化学国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
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凹槽工件表面常规磁控与高功率脉冲磁控溅射沉积钒薄膜的研究(英文)被引量：1
《稀有金属材料与工程》2013年第12期2437-2441,共5页李春伟 田修波 刘天伟 秦建伟 杨晶晶 巩春志 杨士勤 
Foundation item:National Natural Science Foundation of China(51175118);Project supported by the open foundation of Science and Technology on Surface Physics and Chemistry Laboratory(SPC201104)
高功率脉冲磁控溅射是一种制备高质量薄膜的新兴方法。在相同的平均功率下分别采用HPPMS技术和传统DCMS技术在凹槽工件表面制备了钒薄膜。对比研究了两种方法下的等离子体组成、薄膜的晶体结构、表面形貌及膜层厚度的异同。结果表明:HP...
关键词：高功率脉冲磁控溅射 凹槽工件 钒薄膜 均匀性 膜厚 
溅射气压对铝合金表面HPPMS沉积钒薄膜摩擦学性能的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》2013年第5期1017-1022,共6页李春伟 田修波 刘天伟 秦建伟 巩春志 杨士勤 
国家自然科学基金(51175118);表面物理与化学国家重点实验室开放基金(SPC201104)
采用高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)技术,在铝合金基体上制备V薄膜。研究溅射气压对V薄膜相结构、表面形貌及摩擦学性能的影响。结果表明:不同气压下制备的V薄膜中的V相仅沿(111)晶面生长,其衍射峰强度先增强后减弱,当气压为0.5Pa时,衍射峰...
关键词：高功率脉冲磁控溅射(HPPMS) V薄膜 溅射气压 摩擦系数 退火 
直流偏压对铝合金表面高功率脉冲磁控溅射沉积钒薄膜耐蚀性的影响被引量：4
《稀有金属材料与工程》2013年第1期109-113,共5页李春伟 田修波 刘天伟 秦建伟 巩春志 杨士勤 
表面物理与化学国家重点实验室开放基金资助项目(SPC201104)
采用高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)法,在工业纯铝基体上生长得到V薄膜,研究不同直流偏压对薄膜相结构、形貌及不同温度处理对耐蚀性的影响。结果表明,薄膜相结构为单一的V(111)相。薄膜表面光滑、平整,且随偏压的增大,薄膜表面粗糙度先减...
关键词：高功率脉冲磁控溅射 V薄膜 直流偏压 铝合金 耐蚀性 
高压对高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积氧化钒薄膜的影响
《功能材料》2012年第14期1922-1926,共5页李春伟 巩春志 吴忠振 刘天伟 秦建伟 田修波 杨士勤 
表面物理与化学国家重点实验室开放基金资助项目(SPC201104)
利用高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积技术制备了氧化钒薄膜,分别采用X射线衍射仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜和电化学分析仪研究了不同高压幅值对氧化钒薄膜的相结构、表面形貌、截面形貌以及耐腐蚀性能的影响。结果表明制备...
关键词：高功率脉冲磁控放电 等离子体离子注入与沉积 氧化钒薄膜 高压 耐腐蚀性 
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