韩建强

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供职机构：中国计量大学更多>>
发文主题：微电子机械系统加热电阻谐振梁制作方法谐振式更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电气工程电子电信环境科学与工程更多>>
发文期刊：《赣南师范大学学报》更多>>
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IGBT深槽刻蚀氮化硅硬掩膜制作工艺研究
《赣南师范大学学报》2019年第6期58-61,共4页袁寿财 韩建强 荣垂才 武华 李梦超 王兴权 
国家自然科学基金项目(51377025);江西省科技厅基金项目(20171BAB202037)。
硅基深槽刻蚀是槽栅IGBT器件的基本结构,也是确保器件性能的关键工艺,氮化硅硬掩蔽膜质量对于硅基深槽刻蚀起着重要的作用.本文采用低压化学气相淀积(LPCVD)工艺淀积氮化硅薄膜,具有均匀性好,而且呈现较大的张应力,可以补偿二氧化硅缓...
关键词：低压化学气相淀积 氮化硅 硅槽 刻蚀 
新型薄膜热电变换器的误差分析及其设计制作
《赣南师范大学学报》2017年第3期39-44,共6页袁寿财 韩建强 刘亚媚 宋力 
国家自然科学基金项目(51377025)
交流电压(流)基准是国家交流电压(流)量值传递中的基准计量器具.首先分析新型薄膜热电变换器的热电转换误差,提出采用微桥谐振器非接触式测量加热电阻温度,属于新型薄膜热电变换器中加热电阻的高灵敏度温度检测方式、减小温度传感器与...
关键词：薄膜热电变换器 谐振器 微电子机械系统 交流电压标准 交流电流标准 
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