史明甫

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：机械系统离子束刻蚀微流控芯片更多>>
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一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1462-1465,共4页史明甫 焦继伟 包晓清 冯飞 杨恒 李铁 王跃林 
"973"项目资助(2006CB300403)
研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米沟道...
关键词：微/纳机械系统纳米沟道 离子束刻蚀 
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