包晓清

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：多孔硅阳极氧化光子晶体机械系统离子束刻蚀更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金：上海-AM基金上海市自然科学基金国家重点基础研究发展计划上海市教育发展基金会“曙光计划”项目更多>>
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一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1462-1465,共4页史明甫 焦继伟 包晓清 冯飞 杨恒 李铁 王跃林 
"973"项目资助(2006CB300403)
研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米沟道...
关键词：微/纳机械系统纳米沟道 离子束刻蚀 
基于p型多孔硅的一维光子晶体的微结构分析
《功能材料与器件学报》2006年第1期59-62,共4页包晓清 钱敏 王连卫 朱自强 
上海市自然科学基金资助(03ZR14023);上海市AM基金0409资助
经由阳极氧化实现了p型硅基的60周期(120层)反射结构,并在此基础上成功制作了基于一维光子晶体的全反射镜,其中心反射波长位于1.6μm左右,反射率几乎为100%的禁带带宽约为0.25μm。
关键词：光子晶体 全反射镜 阳极氧化 多孔硅 
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