宋威

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：华南理工大学更多>>
发文主题：薄膜晶体管氧化铟锌热压烧结AMO更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术理学电气工程更多>>
发文期刊：《华南理工大学学报（自然科学版）》《物理化学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金广东省科技计划工业攻关项目中央高校基本科研业务费专项资金国家高技术研究发展计划更多>>
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热压烧结靶材制备氧化铟锌薄膜晶体管被引量：4
《物理化学学报》2017年第10期2092-2098,共7页宋二龙 兰林锋 林振国 孙圣 宋威 李育智 高沛雄 张鹏 彭俊彪 
国家重点研发计划(2016YFB0401105);国家自然科学基金(61204087);广州市珠江科技新星(2014J2200053);广东省科技计划(20158090914003)资助项目~~
本文研究了热压烧结条件对氧化铟锌(IZO)靶材和薄膜晶体管(TFT)性能的影响。以80%:20%(质量分数比)的ZnO和In_2O_3的混合粉体为原料通过热压烧结法制备IZO靶材,以制备的靶材通过磁控溅射制备IZO TFT。X射线衍射(XRD)图谱以及扫描电镜(S...
关键词：薄膜晶体管 氧化铟锌 热压烧结 靶材 磁控溅射 
低温溶液加工法制备氧化锌薄膜晶体管
《华南理工大学学报（自然科学版）》2015年第3期98-102,共5页兰林锋 宋威 史文 彭俊彪 
国家"863"计划项目(2014AA032702);国家自然科学基金资助项目(61204087;51173049;61306099);广州市珠江科技新星项目(2014J2200053);华南理工大学中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2014ZM0003;2014ZZ0028)~~
为适应柔性有源有矩阵有机发光二极管(AMOLED)等新型显示技术发展的需要,将低温溶液处理的氧化锌作为半导体层、电化学氧化的氧化铝钕作为栅绝缘层,制备了氧化锌薄膜晶体管(TFT).制备氧化锌半导体层所用的前驱体溶液为无碳的Zn(OH)x-(NH...
关键词：薄膜晶体管 氧化锌 低温溶液加工 
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