程波

作品数：3被引量：9H指数：2
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发文领域：电子电信理学更多>>
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InSb晶体生长固液界面控制技术研究被引量：1
《红外》2020年第4期8-13,共6页赵超 徐兵 董涛 刘江高 程波 陈元瑞 彭志强 贺利军 李振兴 
在固液界面控制方面,对Si等成熟半导体的研究较多,而对锑化铟(InSb)材料的研究极少。对InSb晶体等径段生长过程中晶体拉速、转速和坩埚转速对固液界面形状的影响进行了模拟分析以及实际的晶体生长实验。结果表明,这三个生长参数对固液...
关键词：INSB 晶体拉速 晶体转速 坩埚转速 固液界面形状 模拟 
100mm直径低位错密度InSb单晶生长研究被引量：5
《红外》2018年第3期9-12,17,共5页赵超 彭志强 柏伟 程波 陈元瑞 贺利军 
InSb是一种重要的中波红外探测器材料。为了满足更大规模、更高质量红外焦平面探测器的发展要求,对100mm直径低位错密度InSb单晶的生长进行了研究。通过改良生长方法、优化籽晶、改进缩颈工艺、优化热场,最终获得位错密度小于等于100cm-...
关键词：INSB 100 MM CZOCHRALSKI 缩颈 籽晶 
大直径高质量锑化铟单晶的生长研究被引量：5
《红外》2009年第8期9-13,共5页王燕华 程鹏 王志芳 程波 陈元瑞 徐鹏艳 
锑化铟单晶是制备3μm～5μm红外探测器的重要材料。为了适应红外焦平面探测器大规模化发展的趋势,我们开展了高质量3in锑化铟单晶的生长研究。本文解决了大直径锑化铟单晶生长的关键技术,讨论了3in锑化铟单晶生长过程中的多晶原料提纯...
关键词：锑化铟 大直径 单晶 位错密度 
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