柏伟

作品数:13被引量:34H指数:4
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基于X射线衍射形貌术的碲锌镉晶体样品制备方法研究
《红外》2024年第9期23-28,共6页王琰璋 刘江高 李振兴 柏伟 李乾 折伟林 
基于传统X射线衍射形貌术(X-Ray diffraction Topography,XRT)的碲锌镉晶体样品制备方法是通过对测试晶片进行磨抛加工,获得满足测试条件的表面。随着单晶晶片尺寸的增大,晶片磨抛加工的难度变大、耗时变长,而且还容易导致晶片损坏。针...
关键词:碲锌镉晶体 X射线衍射形貌术 晶体缺陷 
CdSeTe分子束外延技术研究
《红外》2023年第3期8-13,共6页何温 王丛 高达 邢伟荣 柏伟 杨海燕 折伟林 
对HgCdTe红外探测器CdSexTe1-x衬底材料的分子束外延生长条件、组分调整等进行了简单介绍。生长条件包括生长结构(主要有CdSexTe1-x/CdTe/ZnTe/Si、CdSexTe1-x/ZnTe/GaAs等)、生长温度(300℃左右)、生长厚度(5μm左右)等。组分调整包括...
关键词:CdSexTe1-x 分子束外延 组分调整 
InSb晶片的显微拉曼研究被引量:1
《红外》2023年第1期11-16,共6页柏伟 金研 李乾 董涛 折伟林 
对热处理前后的InSb晶片进行了显微拉曼面扫描测试,开发了一种新的InSb晶片应力面分布表征方式。热处理前后InSb晶片的横向光学(Transverse Optical,TO)声子散射峰分别位于179.3 cm^(-1)和178.5 cm^(-1);纵向光学(Longitudinal Optical,...
关键词:锑化铟 显微拉曼 热处理 应力 晶体质量 
碲锌镉衬底的化学机械抛光液研究
《红外》2023年第1期17-22,共6页王琰璋 岳晓辉 李振兴 柏伟 侯晓敏 
作为碲锌镉衬底表面加工的重要工序,化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)的加工效果决定了碲锌镉衬底的表面质量和生产效率。抛光液是CMP的关键影响因素之一,直接影响衬底抛光后的表面质量。对碲锌镉衬底CMP工艺使用的抛...
关键词:碲锌镉 化学机械抛光 磨料浓度 PH值 
碲镉汞红外探测器性能调控技术研究被引量:1
《红外》2021年第12期6-14,共9页何温 王丛 田震 王鑫 高达 杨海燕 柏伟 
西安市智能探视感知重点实验室项目(201805061ZD12CG45)。
对影响Hg_(1-x)Cd_(x)Te红外探测器性能的不同调控技术——包括材料调控(组分及温度、掺杂浓度、压强及应力等对材料性能的调控)、器件结构调控(n-on-p、p-on-n、p-i-n、n-B-n等器件结构的调控)和工艺调控(各种工艺调控对材料制备和器...
关键词:红外探测器 Hg_(1-x)Cd_(x)Te 调控技术 
基于高温热处理的InSb晶片性能研究被引量:1
《红外》2021年第4期9-14,共6页柏伟 张立超 徐强强 赵超 刘铭 
近年来,为了满足新一代百万像元、高集成度、高性能红外焦平面探测器的发展需求,人们对高晶格质量、高表面状态InSb晶片的要求越来越高。为了提高用生长态晶体加工的InSb晶片的性能,对晶片高温热处理进行了研究。通过采用特殊设计的晶...
关键词:锑化铟晶片 热处理 应力 平面度 晶格质量 
锑化铟晶体材料的发展及应用被引量:11
《人工晶体学报》2020年第12期2230-2243,共14页柏伟 赵超 刘铭 
锑化铟(InSb)晶体材料自发现伊始,基于其独特的物理化学性质和优良的工艺兼容性,成为了半导体材料领域研究的热点。近几十年来,由于其在红外探测领域的应用前景,更是深受国内外研究机构的广泛关注和重视,技术发展迅速。目前,InSb晶体材...
关键词:锑化铟晶体 半导体 红外探测器 发展 应用 
锑化铟红外焦平面探测器发展现状被引量:12
《红外》2019年第8期1-14,共14页柏伟 
近年来,红外探测器技术发展迅速,在国防、气象、红外遥感和航空航天等众多领域应用广泛。作为中波红外波段最重要的探测器之一,锑化铟(InSb)红外焦平面探测器具有量子效率极高、暗电流小、器件响应线性度高、稳定性好、灵敏度极高等特点...
关键词:INSB 红外焦平面 发展 量子效率 
4英寸高质量InSb晶体生长研究被引量:12
《红外》2018年第9期8-13,共6页柏伟 庞新义 赵超 
InSb晶体是制备中波红外探测器的重要材料。为了满足新一代超大规模阵列红外焦平面探测器的发展需求,开展了大尺寸InSb晶体的生长研究,解决了晶体生长的诸多关键技术,成功地生长出了直径为4 in的高质量InSb单晶,并加工出了高质量的4 in ...
关键词:锑化铟 晶体生长 直径 位错 电学参数 
100mm直径低位错密度InSb单晶生长研究被引量:5
《红外》2018年第3期9-12,17,共5页赵超 彭志强 柏伟 程波 陈元瑞 贺利军 
InSb是一种重要的中波红外探测器材料。为了满足更大规模、更高质量红外焦平面探测器的发展要求,对100mm直径低位错密度InSb单晶的生长进行了研究。通过改良生长方法、优化籽晶、改进缩颈工艺、优化热场,最终获得位错密度小于等于100cm-...
关键词:INSB 100 MM CZOCHRALSKI 缩颈 籽晶 
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