赵东磊

作品数：1被引量：10H指数：1
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供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
发文主题：PH值碱性化学机械抛光纳米SIO溶胶更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊：《功能材料》更多>>
所获基金：国家中长期科技发展规划重大专项更多>>
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碱性纳米SiO_2溶胶在化学机械抛光中的功能被引量：10
《功能材料》2010年第11期1903-1906,共4页刘效岩 刘玉岭 梁艳 赵之雯 胡轶 赵东磊 
国家中长期科技发展规划02科技重大专项资助项目(2009ZX02308)
纳米SiO2是一种性能优越的功能材料,化学机械抛光(CMP)过程的精确控制在很大程度上取决于对纳米SiO2功能的认识。但是目前对碱性纳米SiO2在CMP过程中的功能还没有完全弄清楚,探讨它在CMP中作用是提高CMP技术水平的前提。纳米SiO2溶胶的...
关键词：纳米SiO2溶胶 化学机械抛光 表面效应 PH值 化学反应模型 
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