梁艳

作品数：2被引量：16H指数：2
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供职机构：河北化工医药职业技术学院更多>>
发文主题：PH值碱性化学机械抛光纳米SIO溶胶更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《功能材料》《稀有金属材料与工程》更多>>
所获基金：国家中长期科技发展规划重大专项更多>>
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铜互连线低压无磨料化学机械平坦化技术被引量：6
《稀有金属材料与工程》2012年第4期717-721,共5页刘效岩 刘玉岭 梁艳 胡轶 刘海晓 李晖 
国家中长期科技发展规划02科技重大专项(2009ZX02308)
在低压无磨料条件下,利用碱性FA/O型螯合剂具有极强螯合能力的特性,对铜互连线进行化学机械平坦化,获得了高抛光速率和表面一致性。提出了铜表面低压无磨料抛光技术的平坦化原理,在分析了抛光液化学组分与铜化学反应机理的基础上,对抛...
关键词：铜互连线 无磨料 低压 FA/O型螯合剂 化学机械平坦化 
碱性纳米SiO_2溶胶在化学机械抛光中的功能被引量：10
《功能材料》2010年第11期1903-1906,共4页刘效岩 刘玉岭 梁艳 赵之雯 胡轶 赵东磊 
国家中长期科技发展规划02科技重大专项资助项目(2009ZX02308)
纳米SiO2是一种性能优越的功能材料,化学机械抛光(CMP)过程的精确控制在很大程度上取决于对纳米SiO2功能的认识。但是目前对碱性纳米SiO2在CMP过程中的功能还没有完全弄清楚,探讨它在CMP中作用是提高CMP技术水平的前提。纳米SiO2溶胶的...
关键词：纳米SiO2溶胶 化学机械抛光 表面效应 PH值 化学反应模型 
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