李增寿

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n-on-p锑化铟薄膜的液相外延生长
《红外技术》2016年第7期577-580,共4页李忠良 陈建才 叶薇 李增寿 刘世能 
用水平开管液相外延技术在锑化铟衬底上用富铟锑化铟母液生长锑化铟薄膜材料,薄膜材料具有n-on-p结构,衬底为p型层,掺Ge,浓度1×10^(15)~5×10^(16) cm^(-3);薄膜为n型层,掺Te,薄膜面积20 cm×25 cm,厚度2~3μm,表面平整度±0.2μm,浓度...
关键词：n-on-p 锑化铟 液相外延 
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