关宝路

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室更多>>
发文主题：氧化铟锡AU高亮度硅衬底铝镓铟磷更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《固体电子学研究与进展》更多>>
所获基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”霍英东基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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基于Au/Au直接键合的高亮度ODRLED被引量：4
《固体电子学研究与进展》2009年第3期399-402,449,共5页李一博 郭霞 关宝路 揣东旭 沈光地 
国家自然科学基金(No60506012);国家重点基础研究发展计划项目(973计划:No2006CB604902);霍英东基金(No101062);国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03A121);教育部新世纪优秀人才计划项目(批准号:39002013200801);北京市青年骨干教师培养计划项目(NoJ2002013200801)
提出利用Au/Au直接键合制作高亮度全方位反光镜(ODR)LED的新工艺。工艺采用Si做转移衬底,氧化铟锡(ITO)做窗口层和缓冲层,在0.35mPa压力,260°C的低温下实现Au/Au固相直接键合。直接键合后,Al-GaInP有源区与Si衬底结合牢固完整,保证了...
关键词：铝镓铟磷 硅衬底 氧化铟锡 全方位反光镜 直接键合 发光二极管 
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