赵建国

作品数：3被引量：12H指数：3
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供职机构：河北工业大学材料科学与工程学院信息功能材料研究所更多>>
发文主题：RTP少子寿命金属杂质对氮化硅更多>>
发文领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《太阳能学报》《材料热处理学报》《光电子．激光》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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快速热处理工艺下金属杂质对铸造多晶硅少子寿命的影响被引量：5
《太阳能学报》2009年第5期611-614,共4页陈玉武 郝秋艳 刘彩池 赵建国 吴丹 王勇 
国家自然科学基金(50572022)
利用离子注入技术在铸造多晶硅中分别引入铜、铁、镍杂质玷污,用微波光电导衰减(μ-PCD)仪测试技术研究了铜、铁、镍杂质对硅片少子寿命的影响。研究发现:原生铸造多晶硅片和离子注入铜、铁、镍杂质的多晶硅片经1000℃常规热处理2h后少...
关键词：铸造多晶硅 RTP 少子寿命 杂质 缺陷 
快速热处理对PECVD氮化硅薄膜性能的影响被引量：3
《光电子．激光》2008年第10期1357-1360,共4页陈玉武 郝秋艳 刘彩池 王立建 孙海知 赵建国 
国家自然科学基金资助项目(50572022);河北省教育厅资助项目
利用PECVD在硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,将沉积膜后的样品放在N2气氛中进行快速热处理(RTP),研究了不同快速热处理对PECVD氮化硅薄膜性能的影响。采用原子力显微镜(AFM)检测薄膜的表面形貌,利用椭圆偏振仪测量样品膜厚和折射率,利用...
关键词：PFCVD 氮化硅 RTP 太阳电池 
快速热处理对铸造多晶硅性能的影响被引量：4
《材料热处理学报》2008年第5期5-8,共4页陈玉武 郝秋艳 刘彩池 赵建国 王立建 吴丹 
国家自然科学基金(50572022);河北省教育厅资助项目
采用微波光电导衰减法(μ-PCD)、扫描电镜等测试技术,研究了快速热处理(RTP)对铸造多晶硅片表面缺陷形貌以及少子寿命特性的影响。结果表明:铸造多晶硅片经低中温(750、850和950℃)RTP时,硅片的少子寿命明显降低,其中在950℃、保温30s...
关键词：铸造多晶硅 少子寿命 快速热处理(RTP) 缺陷 
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