王立建

作品数：4被引量：15H指数：3
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供职机构：河北工业大学更多>>
发文主题：太阳电池表面织构RTP氧沉淀硅片更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《光电子．激光》《材料热处理学报》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金更多>>
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快速热处理对PECVD氮化硅薄膜性能的影响被引量：3
《光电子．激光》2008年第10期1357-1360,共4页陈玉武 郝秋艳 刘彩池 王立建 孙海知 赵建国 
国家自然科学基金资助项目(50572022);河北省教育厅资助项目
利用PECVD在硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,将沉积膜后的样品放在N2气氛中进行快速热处理(RTP),研究了不同快速热处理对PECVD氮化硅薄膜性能的影响。采用原子力显微镜(AFM)检测薄膜的表面形貌,利用椭圆偏振仪测量样品膜厚和折射率,利用...
关键词：PFCVD 氮化硅 RTP 太阳电池 
快速热处理对铸造多晶硅性能的影响被引量：4
《材料热处理学报》2008年第5期5-8,共4页陈玉武 郝秋艳 刘彩池 赵建国 王立建 吴丹 
国家自然科学基金(50572022);河北省教育厅资助项目
采用微波光电导衰减法(μ-PCD)、扫描电镜等测试技术,研究了快速热处理(RTP)对铸造多晶硅片表面缺陷形貌以及少子寿命特性的影响。结果表明:铸造多晶硅片经低中温(750、850和950℃)RTP时,硅片的少子寿命明显降低,其中在950℃、保温30s...
关键词：铸造多晶硅 少子寿命 快速热处理(RTP) 缺陷 
多晶硅太阳电池酸腐表面织构的研究被引量：8
《光电子．激光》2007年第3期289-291,共3页王立建 刘彩池 孙海知 郝秋艳 
国家自然科学基金资助项目(50572022)
采用酸腐多晶Si片的方法,获得了各向同性的表面织构。酸腐蚀液选取HF-HNO3混合溶液,并用H3PO4进行改良。分别利用扫描电镜(SEM)和光谱响应系统,分析了腐蚀后多晶Si片的表面形貌和反射率。结果表明,酸腐多晶Si表面分布均匀的蚯蚓状腐蚀坑...
关键词：表面织构 多晶Si 太阳电池 
快速热处理对重掺As硅单晶中氧沉淀的影响
《Journal of Semiconductors》2006年第z1期165-168,共4页孙世龙 刘彩池 郝秋艳 滕晓云 赵丽伟 赵彦桥 王立建 石义情 
国家自然科学基金(批准号:60076001),河北省自然科学基金(批准号:E2005000057)和河北省教育厅(批准号:2004311)资助项目
对重掺As硅片进行快速热处理,发现重掺As硅片中氧沉淀行为与快速热处理温度、保温时间和降温速度有很大的关系.随着快速热处理温度的升高、降温速度的增大和保温时间的延长,氧沉淀的密度增大.最后对影响的机理进行了讨论.
关键词：重掺As硅片 快速热处理 氧沉淀 清洁区 
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