祝永锋

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高性能硅基压力传感器产业技术研究
《中国科技成果》2023年第13期27-29,38,共4页李永清 贾文博 方子硕 祝永锋 滕文峰 裴晓雷 
本文介绍了高性能硅基压力传感器及压力敏感芯片在国内各典型应用领域的日益凸显的重要地位,分析了国内外技术发展现状及国内存在的主要差距,详细阐述了本研究开展的各项技术研究内容、突破的各项核心关键技术以及实现的技术创新点,总...
关键词：硅基压力传感器 MEMS压力敏感芯片 高性能 高稳定 低漂移 
提高压力传感器过载响应速度的研究
《仪表技术与传感器》2015年第6期14-16,19,共4页李颖 张治国 刘剑 张哲 张娜 郑东明 梁峭 祝永锋 
国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2014AA042001)
介绍了一种提高硅电容压力传感器过载回零响应速度的方法,通过在传感器硅可动极板上设计、制作快速导油微结构,实现了传感器过载回零响应速度的大幅度提升,解决了传感器设计中一项关键技术难题,使硅电容压力传感器真正达到了实用化程度...
关键词：硅电容 传感器 导油槽 响应速度 
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