李婧璐

作品数：1被引量：6H指数：1
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测试方法对硅片表面微粗糙度测量结果影响的研究被引量：6
《稀有金属》2009年第6期884-888,共5页孙燕 李莉 孙媛 李婧璐 李俊峰 徐继平 
随着大规模集成电路的快速发展,硅片表面微粗糙度对于器件制造的影响也越来越受到人们的重视。介绍了几种测量硅片表面微粗糙度的测试方法,并将它们分成三类,简单阐述了每一类测试方法的测试原理,影响测试结果的因素,从实际应用的角度...
关键词：表面微粗糙度 测量 硅片 
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