李俊峰

作品数：3被引量：16H指数：2
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发文主题：硅片HFRCA清洗硅片清洗声波更多>>
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重掺硼硅片表面清洗研究
《稀有金属》2017年第1期52-56,共5页墨京华 李俊峰 刘大力 刘斌 鲁进军 周旗钢 
国家科技重大专项项目(2010zx02302-001)资助
研究了SC-1清洗过程对重掺硼和轻掺硼硅片表面颗粒、微粗糙度的影响及其清洗后硅片表面化学组态分布,采用表面颗粒激光扫描仪、原子力显微镜及X射线光电子能谱(XPS)对重掺硼和轻掺硼硅片在SC-1清洗过程中表现的不同清洗特性进行分析。...
关键词：重掺B硅单晶 表面微粗糙度 颗粒 SC-1清洗 
测试方法对硅片表面微粗糙度测量结果影响的研究被引量：6
《稀有金属》2009年第6期884-888,共5页孙燕 李莉 孙媛 李婧璐 李俊峰 徐继平 
随着大规模集成电路的快速发展,硅片表面微粗糙度对于器件制造的影响也越来越受到人们的重视。介绍了几种测量硅片表面微粗糙度的测试方法,并将它们分成三类,简单阐述了每一类测试方法的测试原理,影响测试结果的因素,从实际应用的角度...
关键词：表面微粗糙度 测量 硅片 
HF／O_3在300mm硅片清洗中的应用被引量：10
《半导体技术》2006年第2期108-111,共4页闫志瑞 李俊峰 刘红艳 张静 李莉 
国家863资助项目(2004AA3Z1140)
随着半导体技术的不断发展,集成电路的线宽在不断减小,对硅抛光片表面质量的要求也越来越高,传统的RAC清洗方法已不能满足其需求,因此,必须发展新的清洗方法。本文对传统的RCA清洗方法进行了简单的介绍,分析了其中的不足之处,在此基础上...
关键词：硅片 RCA清洗 兆声波 HF/O3 
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