RCA清洗

作品数：14被引量：97H指数：6
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碳化硅晶圆的清洗工艺研究
《中国科技期刊数据库 工业A》2023年第12期41-43,共3页区灿林 
随着碳化硅功率芯片的线宽要求越来越高,污染物对晶圆和器件的影响也愈发突出,以致于洁净表面的清洗技术日益重要。本文借鉴传统的硅片清洗方法,开发了碳化硅晶圆的清洗工艺,并介绍了常用的晶圆清洗方法。其中湿法清洗占主流地位,湿法...
关键词：碳化硅晶圆 槽式清洗机 单片清洗机 RCA清洗 
VDMOS器件制造中的湿法工艺与设备研究被引量：4
《电子工业专用设备》2021年第6期16-20,共5页宋文超 
简述了VDMOS器件制造工艺流程,介绍了其中常用的RCA清洗、SPM去胶、BOE腐蚀、Al腐蚀等湿法工艺,并对相关湿法设备的配置以及工作原理进行了介绍。
关键词：VDMOS器件 湿法设备 RCA清洗 SPM去胶 BOE腐蚀 铝腐蚀 
掩膜版缺陷分析与消除
《科学与信息化》2020年第24期40-41,共2页周文 束名扬 兰翔 
掩膜版在生产、使用和保存的过程中,均有可能产生缺陷。掩膜版上缺陷的存在,会直接影响到每一个芯片的性能,严重者可能会造成整批晶圆的报废。本文主要讨论掩膜版的缺陷类型与来源,并通过掩膜版修补技术消除硬缺陷,通过清洗技术消除软...
关键词：掩膜版 缺陷 RCA清洗 UV+O3 
影响功率半导体器件用硅外延片清洗质量的因素被引量：4
《清洗世界》2019年第6期38-40,共3页薛宏伟 周晓龙 刘永刚 
硅外延片非常适合且已经被广泛用作制备功率半导体器件,但其供给远远不能满足市场需求。硅外延片清洗后,可能会造成表面有机物、颗粒、金属污染物和水痕残留,直接影响到功率半导体器件用晶圆加工过程的稳定性和加工产品的最终良率。从...
关键词：功率半导体器件 硅外延片 表面 RCA清洗 
半导体硅材料的清洗方法被引量：5
《天津科技》2017年第5期56-58,63,共4页王艳茹 李贺梅 
半导体行业中的很重要的一道工序就是对半导体材料的清洗,这直接影响着半导体材料的质量及下游产品的性能。介绍了硅片表面污染的种类来源以及形成机理。对目前硅片主要清洗方法——RCA清洗法、超声清洗法、气相清洗法和其他清洗法的工...
关键词：硅片 表面污染 超声清洗 RCA清洗 
干冰微粒喷射清洗技术被引量：17
《微纳电子技术》2012年第4期258-262,共5页郭新贺 王磊 景玉鹏 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(YOGZ028003)
简要介绍了随着工艺节点的缩小,传统RCA清洗方法在硅片清洗工艺中的局限性和弊端,进而提出了以CO2为介质的新型干冰微粒喷射清洗方法。从CO2的物理特性出发,论述了CO2流经喷枪后形成干冰微粒的机理,并简要分析了干冰微粒喷射技术对颗粒...
关键词：RCA清洗 硅片清洗 CO2 干冰微粒喷射 清洗设备 
超临界二氧化碳(SCCO_2)无损伤清洗被引量：13
《微纳电子技术》2010年第2期65-70,79,共7页王磊 惠瑜 高超群 景玉鹏 
国家自然科学基金资助项目(60976017)
简要回顾了传统RCA清洗工艺的历史背景和清洗原理,介绍了RCA清洗随着工艺节点减小存在的局限性。在此基础上,阐述了以超临界二氧化碳(SCCO2)为媒质的新型清洗工艺,该工艺流程可以同时实现超临界流体清洗和干燥。结合自主研发的绿色环保...
关键词：RCA清洗 硅片清洗 无损伤清洗 超临界二氧化碳 超临界流体 干燥 
碲镉汞分子束外延所用的Si衬底清洗的现状与进展
《红外与激光工程》2007年第z1期42-45,共4页许秀娟 
综述了碲镉汞分子束外延所用的si衬底的传统RCA清洗方法和改进的RCA清洗方法的机理、清洗特点和清洗局限.最后介绍了碲镉汞分子束外延所用的Si衬底清洗方法的进展.
关键词：SI衬底 RCA清洗 微粗糙度 各向异性 
HF／O_3在300mm硅片清洗中的应用被引量：10
《半导体技术》2006年第2期108-111,共4页闫志瑞 李俊峰 刘红艳 张静 李莉 
国家863资助项目(2004AA3Z1140)
随着半导体技术的不断发展,集成电路的线宽在不断减小,对硅抛光片表面质量的要求也越来越高,传统的RAC清洗方法已不能满足其需求,因此,必须发展新的清洗方法。本文对传统的RCA清洗方法进行了简单的介绍,分析了其中的不足之处,在此基础上...
关键词：硅片 RCA清洗 兆声波 HF/O3 
半导体晶圆自动清洗设备被引量：8
《电子工业专用设备》2004年第9期8-12,共5页王锐延 
主要介绍了半导体晶圆RCA清洗工艺以及半导体晶圆自动清洗设备在生产中的结构设计和应用情况。在工艺模块和伺服机械传送方面体现了湿法化学的独创性和实用性。解决了晶圆清洗技术中晶圆清洗效果的一致性,在半导体IC、材料、器件领域的...
关键词：湿法化学 工艺模块 QDR RCA清洗 
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