王磊

作品数：7被引量：30H指数：2
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：二次谐波临界态光刻胶硅片厚层更多>>
发文领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《微处理机》《传感器与微系统》《微纳电子技术》《原子能科学技术》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金中国科学院知识创新工程更多>>
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集成电路和功率器件抗辐射工艺加固技术研究综述
《原子能科学技术》2024年第S02期512-526,共15页李博 王磊 刘凡宇 陈思远 陆江 舒磊 
国家重点研发计划(2022YFB4401700);国家自然科学基金(U22B2043,62374184)。
随着我国空间装备的高速发展,尤其是深空探测器,微电子器件抗辐射性能得到广泛关注。抗辐射工艺加固是实现器件抗辐射性能提升的重要途径之一。本文围绕空间总剂量效应和单粒子效应,对近年来集成电路和功率器件辐射效应机理和工艺加固...
关键词：工艺加固 总剂量效应 单粒子效应 集成电路 功率器件 
碳纳米管薄膜场效应晶体管低温电学特性
《现代应用物理》2023年第3期217-221,共5页张静 李梦达 朱慧平 王磊 彭松昂 陆芃 李晓静 王艳蓉 李博 闫江 
北京市教委基金委联合基金资助项目(KZ202210009014)。
基于网络状碳纳米管(carbon nanotube,CNT)薄膜制备了网络状碳纳米管薄膜场效应晶体管(carbon nanotube thin film field effect transistor,CNT-TFT),研究了温度为100~300 K时,CNT-TFT的电学特性,并对关键电学参数,如开态电流I_(on)、...
关键词：碳纳米管薄膜场效应晶体管 低温 电学特性 散射 界面俘获中心 
X射线和重离子辐射对GaN基发光二极管的影响
《微处理机》2019年第6期1-5,共5页王磊 李博 张学文 李彬鸿 罗家俊 刘新宇 袁清习 
针对航天军事核物理等应用环境,研究了白光光谱高能X射线和30MeV Si重离子辐射效应对蓝光InGaN/GaN多量子阱发光二极管的阈值电压、发光功率、发光波长及色坐标的影响,得出二极管阈值电压和发光功率随Si粒子注量的变化规律。对比研究结...
关键词：INGAN/GAN多量子阱 发光二极管 可见光通讯 X射线 重离子 辐射效应 位移损伤 
高灵敏度SCR微悬臂梁设计仿真被引量：1
《传感器与微系统》2013年第1期95-98,101,共5页李其昌 王广龙 高凤岐 卢江雷 张姗姗 王磊 
利用有限元仿真分析方法,模拟不同特征应力集中区域(SCR)对微悬臂梁测量性能的影响,得出微悬臂梁结构引入不同形式特征SCR后所产生的测量性能的变化规律,分析灵敏度与测量带宽及测量范围的取舍原则。对基于微悬臂梁的高灵敏度微传感器...
关键词：微悬臂梁 高灵敏度 应力集中区域 有限元仿真 
干冰微粒喷射清洗技术被引量：17
《微纳电子技术》2012年第4期258-262,共5页郭新贺 王磊 景玉鹏 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(YOGZ028003)
简要介绍了随着工艺节点的缩小,传统RCA清洗方法在硅片清洗工艺中的局限性和弊端,进而提出了以CO2为介质的新型干冰微粒喷射清洗方法。从CO2的物理特性出发,论述了CO2流经喷枪后形成干冰微粒的机理,并简要分析了干冰微粒喷射技术对颗粒...
关键词：RCA清洗 硅片清洗 CO2 干冰微粒喷射 清洗设备 
电磁驱动推拉式射频MEMS开关的设计与制作
《微纳电子技术》2010年第6期362-366,共5页惠瑜 高超群 王磊 景玉鹏 陈大鹏 
中国科学院知识创新工程项目(06SF021002)
提出了一种新型电磁驱动推拉式射频MEMS开关。针对传统静电驱动单臂梁开关所需驱动电压大、恢复力不足等问题,设计了一种推拉式开关结构,降低了驱动电压(电流),提高了开关的隔离度,同时实现了单刀双掷的功能。单晶Si梁由于自身无应力,...
关键词：射频MEMS开关 MEMS 电磁驱动 推拉式 单晶硅梁 隔离度 
超临界二氧化碳(SCCO_2)无损伤清洗被引量：13
《微纳电子技术》2010年第2期65-70,79,共7页王磊 惠瑜 高超群 景玉鹏 
国家自然科学基金资助项目(60976017)
简要回顾了传统RCA清洗工艺的历史背景和清洗原理,介绍了RCA清洗随着工艺节点减小存在的局限性。在此基础上,阐述了以超临界二氧化碳(SCCO2)为媒质的新型清洗工艺,该工艺流程可以同时实现超临界流体清洗和干燥。结合自主研发的绿色环保...
关键词：RCA清洗 硅片清洗 无损伤清洗 超临界二氧化碳 超临界流体 干燥 
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