刘建宁

作品数：3被引量：3H指数：1
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供职机构：南京航空航天大学材料科学与技术学院更多>>
发文主题：射频磁控溅射衬底温度SI和光溅射气压更多>>
发文领域：一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《化工新型材料》《电子器件》《机械工程材料》更多>>
所获基金：江苏省自然科学基金国家大学生创新性实验计划中央级公益性科研院所基本科研业务费专项国家大学生创新性实验计划项目更多>>
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Ge/SiO_2和Ge/ZnO/SiO_2薄膜的磁控溅射制备及电学性能被引量：1
《化工新型材料》2012年第4期103-105,共3页余乐 刘劲松 李子全 陈建康 何明霞 彭洁 曹安 刘建宁 蒋维娜 万龙 
江苏省自然科学基金(BK2009379);国家大学生创新性实验计划项目(20101028727);南京航空航天大学基本科研业务费专项科研项目(1006-56Y1064)和南京航空航天大学引进人才基金(1006-909308)资助
采用射频磁控溅射方法以石英玻璃为衬底分别沉积制备出了Ge/SiO2和Ge/ZnO/SiO2薄膜。X射线衍射表明薄膜展示了明显的ZnO衍射峰和较弱的Ge衍射峰;傅里叶变换红外光谱曲线证明薄膜均具有各自的特征吸收峰;扫描电镜结果显示薄膜为颗粒状团...
关键词：射频磁控溅射 Ge/SiO2薄膜 Ge/ZnO/SiO2薄膜 电流-电压性能 
溅射气压和衬底温度对Si_(1-x)Ge_x薄膜结构和光吸收性能的影响被引量：2
《机械工程材料》2012年第2期32-36,共5页刘亚妮 余乐 李子全 刘劲松 曹安 蒋维娜 刘建宁 
江苏省自然科学基金资助项目(SBK200922430);国家大学生创新性实验计划资助项目(101028727)
采用射频磁控溅射法沉积了Si1-xGex薄膜,研究了溅射气压、衬底温度对薄膜结构、厚度、表面形貌、表面成分及光吸收性能的影响。结果表明:薄膜均为微晶结构且相组成不随溅射气压和衬底温度的改变而改变;随着溅射气压升高,薄膜结晶性能降...
关键词：Si1-xGex薄膜 溅射气压 衬底温度 光吸收强度 
(Si/Ge)_n多层薄膜的设计制备及光吸收性能被引量：1
《电子器件》2012年第1期1-6,共6页何明霞 刘劲松 李子全 曹安 刘建宁 丛孟启 蒋维娜 彭洁 余乐 
江苏省自然科学基金项目(BK2009379);国家大学生创新性实验计划(20101028727);南京航空航天大学基本科研业务费专项科研项目(1006-56Y1064);南京航空航天大学引进人才基金(1006-909308)
采用射频磁控溅射技术,在石英玻璃衬底上沉积了具有不同层数和厚度的(Si/Ge)n多层薄膜。XRD、Raman光谱测试表明,溅射态薄膜为微晶结构,在溅射过程中层间扩散形成Si-Ge振动键,溅射时间和薄膜层数影响着薄膜层间的扩散和结晶率;FESEM结...
关键词：(Si/Ge)n多层薄膜 射频磁控溅射 层数 厚度 UV-VIS光谱 
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