陈潇

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供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
发文主题：镁SIOSIMS氮化镓二次离子质谱更多>>
发文领域：理学电气工程电子电信更多>>
发文期刊：《半导体技术》《电子质量》《现代仪器与医疗》更多>>
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GD-MS法在测定太阳能级多晶硅中痕量杂质中的应用研究
《电子质量》2025年第2期73-76,共4页王鑫 陈潇 何友琴 张鑫 王东雪 
采用辉光放电质谱法(GD-MS)对太阳能级多晶硅中的Na、B、Ni、Co、Fe、Mn、Cu、Ti、Mg等痕量杂质元素进行了测定,通过优化并选择GD-MS的工作参数,考察了在半定量条件下GD-MS法测定痕量杂质的精密度。结果表明,采用GD-MS法测定太阳能级多...
关键词：太阳能级多晶硅 辉光放电质谱法 杂质元素 
GaN单晶中Mg含量的SIMS定量分析方法
《半导体技术》2020年第7期571-575,共5页何友琴 马农农 陈潇 张鑫 刘立娜 
GaN材料是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料,在其单晶材料的研制过程中,掺杂剂Mg的含量对生长p型GaN有重要影响,所以对Mg浓度的精确测定至关重要。采用相对灵敏度因子法,以离子注入样品为参考样品,对GaN单晶中Mg元素含量的...
关键词：氮化镓 镁 相对灵敏度因子 二次离子质谱(SIMS) 定量分析 
SiO_2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析
《现代仪器与医疗》2013年第4期69-71,共3页马农农 何友琴 王东雪 陈潇 
国家半导体器件钝化膜质量评估技术研究(项目编号:Z312012A005)
采用二次离子质谱分析手段,检测半导体晶片SiO2钝化膜中钠离子的浓度分布,采用标样法,计算得出相对灵敏度因子,给出浓度随深度的定量测试结果 ,结果表明,该方法检测灵敏度较高,既给出钠离子在钝化膜中的分布,也可以得到面密度,并研究了...
关键词：钝化膜 钠离子浓度 二次离子质谱分析 
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