刘磊

作品数：2被引量：24H指数：2
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：谐振式压力传感器差分检测MEMS微机械扩散硅更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《传感技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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一种新型微机械谐振式压力传感器研究被引量：22
《传感技术学报》2009年第6期790-793,共4页史晓晶 陈德勇 王军波 毋正伟 刘磊 
国家863计划项目资助(2007AA4Z318);国家自然科学基金NNSFC资助(60772018;60674112)
提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。该传感器采用了电磁激励和差分检测方式。谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片,从而实现了谐振器与压力膜的一体化,避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力,并且工艺简单易于实现。文...
关键词：谐振式压力传感器 MEMS 电磁激励 差分检测 FEA-ANSYS 
扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除被引量：3
《传感技术学报》2009年第3期362-365,共4页赵晋敏 李守荣 王军波 陈德勇 刘磊 史晓晶 
国家自然科学基金项目资助(60674112、60772018);国家863计划项目资助(2007AA4Z318)
为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺,提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器,并采用电磁激励实现传感器的闭环控制。实验中发现:由于采用扩散硅材料,传感器受到较为严重的同频干扰影响,因此,消除传感器的同频干扰成为需要解...
关键词：扩散硅 谐振式微机械压力传感器 同频干扰 非对称激励 电磁激励和检测 
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