李晓东

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供职机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院更多>>
发文主题：磁控溅射表面形貌AZO薄膜非晶硅薄膜太阳能电池湿法刻蚀更多>>
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AZO薄膜理想表面形貌的制备与加工工艺优化
《光学仪器》2017年第3期90-94,共5页李晓东 
非晶硅薄膜太阳能电池主要采用掺氟氧化锡(FTO)导电玻璃作为基板,但FTO薄膜雾度较低、表面形貌无法优化,导致无法得到较优的陷光结构,从而限制了太阳能电池的转换效率。为了进一步提升太阳能电池的转换效率,探讨了替代型的掺铝氧化锌(A...
关键词：AZO薄膜 磁控溅射 湿法刻蚀 表面形貌 非晶硅薄膜太阳能电池 
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