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检索条件："关键词=梁-质量块结构微加速度计 "
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(100)面硅片各向异性腐蚀中的凸角补偿方式被引量：7
《纳米技术与精密工程》2008年第1期68-71,共4页郭涛 范波 郭虎岗 高健飞 
国家自然科学基金资助项目(50775209/E052502)
为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状.以一种梁-质量...
关键词：梁-质量块结构微加速度计 湿法腐蚀 凸角补偿 各向异性腐蚀 
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