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检索条件："关键词=毛细管等效气流模型 "
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芯片级原子钟的气密性能分析被引量：3
《真空科学与技术学报》2012年第2期132-139,共8页张志强 徐静 李绍良 吴亚明 
中国科学院知识创新工程重要方向性项目资助
基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素。本文提出了"多层缓冲原子腔"方案大幅度提高原子腔的气密性能,从而提高CPT CSAC的稳定性和寿命...
关键词：芯片级原子钟 多层缓冲原子腔 气密性 毛细管等效气流模型 MATLAB仿真 
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