国家自然科学基金(10572078)

作品数：28被引量：77H指数：6
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相关期刊：《微细加工技术》《山东大学学报（工学版）》《应用基础与工程科学学报》《电子技术应用》更多>>
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基于电子束曝光的微区加热技术
《纳米技术与精密工程》2011年第5期440-445,共6页孔祥东 韩立 初明璋 薛虹 
国家自然科学基金资助项目(10572078);中国博士后科学基金面上资助项目(20090460514)
提出了基于电子束曝光的微区加热技术.在研究样品吸收能量密度的基础上,在FEI820 Dual Beam FIB/SEM系统上对30 keV电子束曝光Pb、Bi、Sn、Al金属薄膜以及15 keV电子束曝光S1805正性抗蚀剂微结构时的微区加热效应进行了实验研究.结果表...
关键词：电子束 微区加热 吸收能量密度 剂量 表面改性 
电子束曝光制备光滑曲面微结构被引量：1
《微纳电子技术》2011年第7期460-463,共4页孔祥东 韩立 初明璋 李建国 
国家自然科学基金资助课题(10572078);中国博士后科学基金面上资助项目(20090460514)
提出了一种基于电子束曝光制备光滑曲面微结构的新技术。对聚合物玻璃转化温度与分子量之间的关系、分子量与电子束吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现聚合物玻璃转化温度随吸收能量密度的增加而减小。以此为依据,在FEI820Dual ...
关键词：电子束 分子量 玻璃转换温度 吸收能量密度 剂量 
蒙特卡罗方法模拟生物组织中光的分布被引量：2
《山东大学学报（工学版）》2010年第4期47-52,共6页高迪 魏守水 任晓楠 崔建强 徐从娟 
国家自然科学基金资助项目(10572078);山东省自然科学基金资助项目(Y2007A16)
用蒙特卡罗方法模拟了准直激光束垂直入射于生物组织的过程,分析了光子在生物组织中的运动轨迹、光学参数对能量分布的影响、吸收能量密度和光能流率随组织厚度和半径的变化情况、组织表面径向和角向分辨的漫反射率的变化情况,并利用卷...
关键词：蒙特卡罗方法 生物组织 吸收能量密度 漫反射 
超声行波微流体驱动圆环模型分析被引量：2
《压电与声光》2010年第4期704-708,共5页陈炜 魏守水 吴浩 张丹丹 
国家自然科学基金资助项目(10572078);山东省自然科学基金资助项目(Y2007A16)
介绍了超声行波微流体驱动的圆环模型,借助边界层理论阐述了两种主要的驱动机理:声流驱动和声辐射压驱动。基于有限元分析,讨论了模型固有频率与模型结构参数间的关系。通过谐响应分析,在谐振频率处成功激励出所需的模态,得到幅频响应特...
关键词：微流体 模态分析 谐响应分析 声固耦合分析 
一种新型微流体主动混合器的仿真与分析被引量：1
《山东大学学报（工学版）》2010年第3期57-60,103,共5页徐昊 魏守水 张敬涛 
国家自然科学基金资助项目(10572078);山东省自然科学基金资助项目(Y2007A16)
针对本文设计的一种新型压电驱动的微流体主动混合器进行建模和仿真,对压电驱动振子进行模态分析,得到其固有频率和振型;以水为流体,对混合器和其内部流体进行流固耦合分析,得到压电振子对混合器内流场的扰动状况;分别在未施加激励和施...
关键词：微流体动态混合器 模态分析 流固耦合分析 
光能量在生物组织中传输的蒙特卡罗研究被引量：9
《生物医学工程学杂志》2010年第3期652-657,共6页任晓楠 魏守水 杨宪章 高迪 
国家自然科学基金资助项目(10572078);山东省自然科学基金资助项目(Y2007A16)
生物组织是一种高散射随机介质,高散射随机介质中光传播问题的研究对于激光生物医学诊断和治疗具有十分重要的意义。采用蒙特卡罗方法模拟了准直光束在生物组织中的传播与分布规律,分析了轴向和组织内部的光能量分布及上下表面的反射或...
关键词：蒙特卡罗方法 光能量 能量散射 生物组织 
超声行波微流体驱动模型的耦合分析被引量：1
《微纳电子技术》2010年第1期33-37,共5页张敬涛 魏守水 徐昊 
国家自然科学基金项目(10572078);山东省自然科学基金(Y2007A16)
介绍了带有微沟道的超声行波微流体驱动的圆环模型。在对模型结构部分进行模态分析和瞬态动力学分析的基础上,基于有限元分析,针对耦合模型作声固耦合分析,分别得到与空气和水耦合时模型的固有频率;进行耦合场的流固耦合分析,采用瞬态...
关键词：超声行波 有限元 微流体 声固耦合 流固耦合 瞬态动力学分析 
微通道内气体流动的DSMC模拟被引量：1
《武汉理工大学学报》2009年第13期99-103,共5页杨宪章 魏守水 何晓川 
国家自然科学基金(10572078);山东省自然科学基金(Y2007A16)
分析了求解微通道内的气体流动的各种方法,用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC)计算了微气体流动中最经典的Couette流动问题。结果表明:在滑流区和过渡区速度滑移和温度跳跃现象明显;滑移速度、剪切力和温度跳跃量均随Kn数增大而增大,滑移速...
关键词：微气体流动 DSMC方法 N—S方程 BOLTZMANN方程 COUETTE流动 
光在生物组织中传播的蒙特卡罗模拟被引量：7
《生物医学工程研究》2009年第4期242-245,共4页高迪 魏守水 任晓楠 崔建强 
国家自然科学基金资助项目(10572078);山东省自然科学基金资助项目(Y2007A16)
光在生物组织中的传播是一个复杂的过程,研究组织中光分布对于医学诊断、治疗有很重要的意义。本研究用蒙特卡罗方法模拟了高斯光束和平圆光束入射生物组织,计算了漫反射率、漫透射率及光吸收能量密度和光能流率随组织厚度和半径的变化...
关键词：生物组织 蒙特卡罗 光能流率 吸收 散射 
电子束重复曝光加工PCR微通道的工艺研究被引量：2
《微纳电子技术》2009年第1期41-44,共4页孔祥东 冯圣玉 张玉林 
国家自然科学基金资助项目(10572078);山东省博士后择优资助科研项目(200603004);山东省自然科学基金资助课题(Y2003G03)
对PCR微流控芯片通道中流体的流动特性进行了分析,发现流体在横截面为圆形的通道中流动时由摩擦引起的等效水头损失及表面张力均小于微矩形通道。以此为依据,将PCR芯片微通道优化设计成圆形通道。在JSM-5CF电子束曝光机上采用束斑尺寸8...
关键词：电子束曝光 重复增量扫描 聚合酶链式反应(PCR)微流控芯片 流体 微通道 
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