国家自然科学基金(11275172)

作品数：4被引量：84H指数：3
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Dark-field detection method of shallow scratches on the super-smooth optical surface based on the technology of adaptive smoothing and morphological differencing被引量：2
《Chinese Optics Letters》2017年第8期53-57,共5页李晨 杨甬英 柴惠婷 张毅晖 吴凡 周林 闫凯 白剑 沈亦兵 许乔 姜宏振 刘旭 
supported by the National Natural Science Foundation of China(Nos.61627825 and 11275172);the State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation Innovation Program(MOI)(No.MOI2015 B06)
In recent years, modern optical processing technologies, such as single point diamond turning, ion beam etching, and magneto-theological finishing, arc getting break- throughs. Machining precisions of super-smooth opt...
关键词：Dark-field detection method of shallow scratches on the super-smooth optical surface based on the technology of adaptive smoothing and morphological differencing 
非球面非零位环形子孔径拼接干涉检测技术被引量：11
《光学学报》2014年第8期156-164,共9页张磊 田超 刘东 师途 杨甬英 沈亦兵 
国家自然科学基金(11275172);中央高校基本科研业务费专项资金(2013QNA5006);现代光学仪器国家重点实验室创新基金(MOI201208)
提出了一种新型的非零位环形子孔径拼接干涉检测技术(NASSI)用以检测深度非球面面形误差。该方法结合了传统非零位干涉检测法与环形子孔径拼接法,采用部分零位镜替代了标准环形子孔径拼接干涉仪中的透射球面镜,产生非球面波前用以匹配...
关键词：测量 深度非球面检测 非零位环形子孔径拼接 部分零位镜 子孔径数目 回程误差 
非球面非零位检测的逆向优化面形重构被引量：10
《光学学报》2014年第6期143-150,共8页师途 刘东 张磊 杨甬英 沈亦兵 
国家自然科学基金(11275172);中央高校基本科研业务费专项资金(2013QNA5006);现代光学仪器国家重点实验室创新基金(MOI201208)
非球面的非零位检测较其零位检测而言具有更强的通用性,但非零位检测偏离了零位条件,所产生的回程误差给被测非球面的面形重构带来一定困难。针对非球面非零位检测中回程误差的校正与面形重构问题,提出了基于检测系统理论建模的非球面...
关键词：测量 面形检测 逆向优化 非零位系统 误差分析 
非球面光学元件的面形检测技术被引量：71
《中国光学》2014年第1期26-46,共21页师途 杨甬英 张磊 刘东 
国家自然科学基金资助项目(No.11275172);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.2013QNA5006);现代光学仪器国家重点实验室创新基金资助项目(No.MOI201208)
介绍了非球面各加工阶段的面形检测技术及其最新进展,重点介绍了非球面精密抛光期的面形检测技术,并对其中的非零位子孔径拼接干涉检测法和部分补偿法进行了详细阐述,提出了适用于大口径、深度非球面面形检测的组合干涉法的概念。概述...
关键词：非球面检测 非球面加工 组合干涉检测 自由曲面 
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