国家自然科学基金(11079035)

作品数：13被引量：50H指数：4
导出分析报告
相关作者：彭忠琦卢启鹏龚学鹏高飒飒宋源更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《光学学报》《核技术》《光机电信息》更多>>
相关主题：面形误差X射线干涉光刻光束线光学器件更多>>
相关领域：机械工程一般工业技术理学电子电信更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
双驱动补偿压弯的椭圆镜有限元分析
《核技术》2022年第6期1-10,共10页马天宇 卢启鹏 王大壮 彭忠琦 龚学鹏 宋源 
国家自然科学基金(No.11079035、No.61974142);中国科学院长春光学精密机械与物理研究所旭光人才计划(No.E01672Y6Q0);应用光学国家重点实验室开放基金(No.SKLA02020001A09)资助。
为满足同步辐射光束线对相关光学元件的技术需求,设计了双驱动四点滚柱压弯机构。通过有限元仿真分析实现高精度大尺寸光学镜面的非等力矩椭圆柱面压弯。以外形尺寸为1200 mm×70 mm×50 mm的反射镜为研究对象,基于物距26.5 m、像距13 ...
关键词：压弯机构 椭圆柱面 有限元分析 面形误差 同步辐射 
自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析被引量：2
《中国光学》2020年第4期787-794,共8页赵晨行 卢启鹏 宋源 龚学鹏 王依 徐彬豪 
国家自然科学基金(No.11079035);国家科技重大专项(No.2012ZX02702001);国家重点研发计划(2018YFD0401003-04)。
反射镜是自由电子激光光束线中的重要光学元件,反射镜自重引起的面形误差会严重影响光束线的成像质量。为减小自重引起的面形误差,基于Bessel点理论提出了重力补偿方案,并设计了无应力夹持装置,利用有限元软件对该装置进行仿真分析。以...
关键词：面形误差 无应力夹持 有限元分析 重力补偿 自由电子激光光束线 
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试被引量：1
《光学精密工程》2014年第8期2142-2150,共9页龚学鹏 卢启鹏 彭忠琦 
国家重大科学工程资助项目;上海光源工程资助项目(No.SS-06);国家自然科学基金资助项目(No.11079035)
介绍了上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线的基本情况。为实现光束线的光束偏转和光路切换,完成了其偏转镜系统的研制。分析了偏转镜系统的功能,设计了偏转镜的调节机构、切换机构和冷却结构。论述了调节机构的关键运动,即镜箱外直线运...
关键词：上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试 
前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响被引量：1
《中国光学》2014年第1期105-111,共7页宋源 卢启鹏 彭忠琦 龚学鹏 
国家自然科学基金资助项目(No.11079035);国家科技重大专项资助项目(No.2012ZX02702001);应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(No.Y2Q03FQK02)
针对变包含角平面光栅单色器前置平面镜(PM)受热负载而导致的单色器分辨率降低问题,提出优化聚焦常数(C ff)补偿分辨率的方法。首先,计算不同C ff值时PM的热功率吸收谱,在此基础上对镜面热负载进行热-结构耦合分析,得到不同热负载时PM...
关键词：变包含角平面光栅单色器 热负载 聚焦常数 分辨率 斜率误差 
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析被引量：4
《光学精密工程》2013年第7期1741-1747,共7页高飒飒 卢启鹏 彭忠琦 龚学鹏 
国家自然科学基金资助项目(No.11079035);应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(Y2Q03FQK02);国家科技重大专项资助项目(No.2012ZX02702001)
针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特...
关键词：X射线干涉光刻光束线 精密狭缝 四刀结构 重复精度 有限元分析 
极紫外光学元件表面碳污染模型的建立被引量：1
《光学学报》2013年第12期358-364,共7页鹿国庆 卢启鹏 彭忠琦 龚学鹏 
国家自然科学基金(11079035);国家科技重大专项(2012ZX02702001);应用光学国家重点实验室开放基金(Y2Q03FQK02)
为有效评估和预测在极紫外光辐照下，极紫外光刻机中残留的碳氢化合物气体在多层膜光学元件表面造成的碳污染状况，建立了光学元件表面碳沉积的复杂理论模型，描述了残留碳氢化合物在光学表面的传输，在极紫外光子和二次电子激发下引起...
关键词：光学器件 极紫外光刻 碳氢化合物污染模型 多层膜光学元件 二次电子 
软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试被引量：6
《光学学报》2013年第2期301-306,共6页龚学鹏 卢启鹏 彭忠琦 
国家自然科学基金(11079035);国家重大科学工程项目上海光源工程(SS-06)资助课题
针对上海光源谱学显微光束线站的性能要求,对其核心部件单色器进行结构设计。阐述了单色器的扫描运动原理,论述了波长扫描机构的设计方案,具体分析平面镜和光栅的转角重复精度影响因素;描述光栅切换机构,着重分析其水平偏差、垂直偏差...
关键词：光学器件 同步辐射 谱学显微 单色器 机械结构 重复精度 
X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析被引量：4
《光学学报》2012年第12期299-305,共7页高飒飒 卢启鹏 彭忠琦 龚学鹏 
国家自然科学基金(11079035);应用光学国家重点实验室开放基金(O9Q33FQ091)资助课题
为缩短实验前的等待时间,减小热辐射对光学元件的损伤以及热变形对实验的影响,充分利用同步辐射X射线获得稳定有效的实验结果,对X射线干涉光刻(XIL)光束线偏转聚焦系统进行了热-结构耦合分析。针对上海光源(SSRF)的光源参数,计算偏转聚...
关键词：X射线光学 功率密度分布 热平衡 面形误差 有限元分析 
谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测被引量：4
《光学精密工程》2012年第3期514-519,共6页马磊 卢启鹏 彭忠琦 
国家自然科学基金资助项目(No.11079035);应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(No.O9Q33FQ091)
为提高上海光源搭建的国内首条软X射线谱学显微光束线站的整体性能,分析了其分光装置-变包含角平面光栅单色仪在波长扫描过程中影响谱学显微光束线光斑水平漂移的各个因素,推导出了各因素与光斑水平漂移的传递关系,并结合具体要求进行...
关键词：变包含角平面光栅单色仪 谱学显微光束线 光斑水平漂移 误差分析 
并联机构的发展及应用被引量：22
《光机电信息》2011年第12期45-50,共6页彭忠琦 
国家自然科学基金资助项目(No.11079035);应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(No.O9Q33FQ091)
绍了国内外并联机构的发展,通过与串联机构的比较,详细说明了并联机构的特点及其在各个领域中的应用。六杆并联机构是并联机构的一种特殊形式,文中具体阐述了其工作原理,并结合上海第三代同步辐射装置软X谱学显微光束线中使用的特殊六...
关键词：并联机构 六杆并联机构 应用领域 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部