国家自然科学基金(60676024)

作品数：7被引量：16H指数：2
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相关期刊：《强激光与粒子束》《Chinese Physics B》《光子学报》《中国激光》更多>>
相关主题：SPPS干涉光刻激光技术相位光栅相干更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>
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罗曼编码型计算全息图的制作被引量：1
《技术与市场》2011年第6期8-9,共2页郑宇 
国家自然科学基金资助项目(60676024)
探讨了罗曼编码型计算全息图的原理和制作步骤;并以星型物面为例完成了计算模拟,其结果表明,此方式能十分方便、快捷地制作出优质的计算全息图,有较强的应用前景。
关键词：计算全息 罗曼编码型 全息图 制作 
拼接光栅机械形变对远场光强的影响
《强激光与粒子束》2010年第7期1487-1490,共4页郑宇 杜惊雷 郭永康 
国家自然科学基金项目(60676024);教育部博士点基金项目(20060610006)
分析了将多块较小的光栅使用机械拼接的方式制成超大面积光栅,能解决大面积光栅目前无法整块生产的情况,在实际拼接中光栅会出现很微量的应力变形。根据拼接光栅通常的形变特点,采用标量衍射理论建立了光栅形变的理论模型,并就两块光栅...
关键词：机械形变 远场光强 光栅拼接 归一化光强 
SPPs光刻曝光显影模拟研究被引量：2
《光子学报》2010年第5期792-796,共5页郑宇 王景全 李敏 牛晓云 杜惊雷 
国家自然科学基金(60676024);教育部博士点基金(20060610006)资助
基于薄层抗蚀剂的曝光模型,建立了普遍适应于表面等离子体激元光刻的抗蚀剂曝光模型.选用AZ1500和AR3170两种抗蚀剂对表面等离子体激元干涉光刻曝光显影过程进行计算对比,获得表面等离子体激元光刻显影的最终轮廓.由此得出工艺优化的条...
关键词：SPPs光刻 干涉光刻 曝光潜像 显影轮廓 
多束SPPs干涉成像模拟研究被引量：1
《四川理工学院学报（自然科学版）》2010年第1期91-94,共4页郑宇 杨黠 李群华 杜惊雷 
国家自然科学基金资助项目(60676024)
多束SPPs干涉光刻是一种可突破衍射极限的新型纳米加工方法。在分析SPPs激励和传输机理基础上,建立多束SPPs干涉成像模型,编制了能快速准确地计算多束SPPs干涉光刻成像的仿真软件。并在此基础上对多束SPPs的干涉像进行了模拟,发现如果...
关键词：多束SPPs 干涉光刻 光子晶体 模拟研究 
无掩模多束SPPs干涉光刻成像仿真软件研究
《四川大学学报（自然科学版）》2009年第5期1423-1428,共6页郑宇 王景全 金凤泽 张志友 牛晓云 杜惊雷 
国家自然科学基金(60676024);教育部博士点基金(20060610006)
多束SPPs干涉光刻是一种可制作纳米尺度光子晶体器件的新型微加工方法,目前尚未见对多束SPPs干涉光刻过程进行模拟分析的专门软件.在分析SPPs激励和传输机理基础上,建立多束SPPs干涉成像模型,并采用VC和Matlab库函数混合编程编制了可计...
关键词：多束SPPs 干涉光刻 模拟软件 混合编程 
The theoretic analysis of maskless surface plasmon resonant interference lithography by prism coupling被引量：5
《Chinese Physics B》2008年第7期2499-2503,共5页方亮 杜惊雷 郭小伟 王景全 张志友 罗先刚 杜春雷 
supported by the National Basic Research of China (Grant No 2006CD302900-2);the National Natural Science Foundation of China (Grant No 60676024);the Specialized Research Fund of China for the Doctoral Program of Higher Education (Grant No 20060610006)
The use of an attenuated total reflection-coupling mode of prism coated with metal film to excite the interference of the surface plasmon polaritons （SPPs） was proposed for periodic patterning with a resolution of s...
关键词：surface plasmon polaritons （SPPs） ENHANCEMENT interference lithography RESOLUTION 
用二维正弦相位光栅实现阵列激光相干并束被引量：7
《中国激光》2008年第1期39-43,共5页王景全 方亮 张志友 杜惊雷 郭永康 
国家自然科学基金(60676024);教育部博士点基金资助项目
相干并束是获得高功率激光束的一种有效方法,特殊设计的二维正弦相位光栅是一种较好的并束元件。介绍了二维正弦相位光栅并束的设计方案,计算表明,在3×3和4×4分束时分束效率分别为81.1%和73.1%,与常用的达曼光栅相比分别提高37%和26.9...
关键词：激光技术 相干并束 正弦相位光栅 误差分析 
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