国家重点基础研究发展计划(2009CB724202)

作品数：7被引量：25H指数：2
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基于电流体动力学的电驱动纳米模塑技术被引量：2
《中国基础科学》2013年第3期27-29,共3页丁玉成 邵金友 田洪淼 李祥明 
973计划(2009CB724202);国家自然科学基金重大研究计划重点项目(90923040)
目前,作为集成电路以及纳米加工主流工艺的光学光刻技术,由于其受到光学衍射极限的物理限制,在16nm线宽及其以下节点的结构制造中,其技术复杂性和设备制造成本大大增加。纳米压印作为一种高分辨率、高效率、低成本和操作过程简单的技术...
关键词：纳米制造 集成电路 电驱动模塑技术 
Application of printed nanocrystalline diamond film for electron emission cathode
《功能材料信息》2013年第2期7-10,共4页张秀霞 Shuyi Wei Chongmin Lei Jie wei Bingheng Lu Yucheng Ding Changchun Zhu 
supported by the National Scientific Fund of China (no.90923040 and no.60844006);National 973 program of China(no.2009CB724202);Ningxia higher education Scientific Fund (no.2008JY002)
The low-cost and large area screen-printed nano-diamond film (NDF) for electronic emission was fabricated. The edges and corners of nanocrystalline diamond are natural field-emitters. The nano-diamond paste for screen...
关键词：摘要 编辑部 编辑工作 读者 
Electrically induced nanostructuring over large area——a new idea from concept to practice
《Engineering Sciences》2013年第1期23-28,38,共7页Li Xiangming Ding Yucheng Shao Jinyou Liu Hongzhong 
Major Research Plan of NSFC on Nanomanufacturing(No.90923040);National Basic Research Program of China(No.2009CB724202)
The paper proposes a novel nano-patterning method called electrically induced nanostructuring, where an external electric field, insteadof the external mechanical pressure, is applied to generate an electrohydrody- na...
关键词：nano-manufacturing electrohydrodynamic force high aspect ratio NANOIMPRINTING 
数值分析电诱导流变成型技术外部因素的影响被引量：1
《微纳电子技术》2012年第11期736-742,共7页田洪淼 邵金友 丁玉成 李欣 李祥明 
国家自然科学基金重大研究计划重点支持项目(90923040);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB724202);中央高校基本科研业务费资助项目(xjj20100145)
电场诱导聚合物流变成型作为一种新型的利用外部电场实现微纳米复型的技术得到越来越多的关注。为了深入理解复型本质与影响因素,提出了电流体动力学(EHD)理论与动网格方法耦合的模型,从数值模拟角度研究了电场诱导聚合物流变成型过程...
关键词：电场诱导聚合物流变成型技术 电流体动力学 动网格技术 微纳结构 数值仿真 
电场诱导微结构图形化形成机理及常温制备工艺被引量：6
《纳米技术与精密工程》2010年第6期504-509,共6页李欣 邵金友 田洪淼 刘红忠 丁玉成 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB724202);国家自然科学基金重大研究计划重点支持项目(90923040)
利用液体薄膜表面热扰动造成的表面张力失稳特性,提出一种常温条件下的非接触式电场诱导聚合物图形化技术.采用Navier-Stokes方程和线性稳定分析理论建立了薄膜流体的电场诱导力学模型,阐明了电场诱导过程中微结构的形成机理和周期特性...
关键词：电场诱导图形化 常温 微结构 紫外光固化型聚合物 
TiO_2光阳极有序微结构的纳米压印工艺
《西安交通大学学报》2009年第11期90-94,共5页连芩 刘红忠 丁玉成 尹磊 
国家自然科学基金资助项目(50775176);国家"973计划"资助项目(2009CB724202);中国博士后科学基金资助项目(200801430);西安市应材创新基金资助项目(XA-AM-200709)
提出一种以常温紫外固化纳米压印技术实现定制化微结构TiO2纳米晶岛薄膜制备的工艺,用于制备垂直于透明导电基底的TiO2薄膜光阳极.混合TiO2粉体、分散剂、乳化剂、酒精和光固化树脂等,制备可紫外光固化的TiO2溶胶,并经步进压印形成宽度...
关键词：纳米压印 纳米晶岛 光阳极 太阳能电池 
纳米压印光刻模具制作技术研究进展及其发展趋势被引量：19
《机械工程学报》2009年第6期1-13,共13页兰红波 丁玉成 刘红忠 卢秉恒 
国家重点基础研究发展计划(973计划,2009CB724202);国家高技术研究发展计划(863计划,2006AA04Z322);山东省自然科学基金(Y2007F49)资助项目
模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography,NIL)与传统光学光刻工艺最大的区别所在,模具作为压印特征的初始载体直接决定着压印图型的质量,要实现高质量的压印复型,必须要有高质量的压印模具。不同于传统光学光刻使用的掩模(4X),纳...
关键词：纳米压印光刻 模具制作 三维模具 大面积模具 软模具 
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