田洪淼

作品数：6被引量：8H指数：2
导出分析报告
供职机构：西安交通大学更多>>
发文主题：电场诱导压印粘附阵列结构微透镜阵列更多>>
发文领域：一般工业技术自动化与计算机技术化学工程电子电信更多>>
发文期刊：《电加工与模具》《中国科学：技术科学》《中国基础科学》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金山西省青年科技研究基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-6
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
电场诱导压印模具的套刻制备及其实验
《电加工与模具》2020年第1期70-74,共5页黎相孟 田洪淼 祝锡晶 
国家自然科学基金资助项目(51705479);山西省青年科技研究基金资助项目(201701D001128)
电场诱导压印技术的关键在于能实现压印光刻胶的正向复形,对电场诱导模具的制备提出了较大的挑战。提出一种基于光刻、刻蚀和SU-8胶套刻的方法,实现了电场诱导压印模具的制备,通过Comsol仿真分析了电场分布,设计了支架高度与模具微结构...
关键词：电场诱导 压印模具 紫外光刻 套刻 等离子体刻蚀 
电渗驱动纳米压印聚合物流变填充机理研究
《中国科学：技术科学》2016年第6期615-624,共10页宋晓 兰红波 田洪淼 
国家自然科学基金重大研究计划(批准号:91023023);国家自然科学基金(批准号:51375250);青岛市创业创新领军人才计划(批准号:13-CX-18)资助项目
电渗驱动纳米压印是一种新型的纳米压印工艺,它在大面积纳米压印、高深宽比微纳结构制造,尤其是在易碎衬底大面积图形化方面具有非常突出的潜能和优势.但是,电渗驱动纳米压印不同于现有的'压力驱动'纳米压印和'电毛细力驱动'纳米压印,...
关键词：纳米压印 电渗驱动 电渗流 流变填充 微纳制造 
基于电流体动力学的电驱动纳米模塑技术被引量：2
《中国基础科学》2013年第3期27-29,共3页丁玉成 邵金友 田洪淼 李祥明 
973计划(2009CB724202);国家自然科学基金重大研究计划重点项目(90923040)
目前,作为集成电路以及纳米加工主流工艺的光学光刻技术,由于其受到光学衍射极限的物理限制,在16nm线宽及其以下节点的结构制造中,其技术复杂性和设备制造成本大大增加。纳米压印作为一种高分辨率、高效率、低成本和操作过程简单的技术...
关键词：纳米制造 集成电路 电驱动模塑技术 
电驱动微纳米模塑技术的成形机理及工艺参数影响研究被引量：2
《机械工程学报》2013年第6期145-152,共8页丁玉成 田洪淼 邵金友 李祥明 
国家自然科学基金重大研究计划(90923040);国家重点基础研究发展计划(973计划;2009CB724202)资助项目
电驱动微纳米模塑技术较之常规压印光刻技术具有其独特的优势,其利用电场产生的Maxwell压强替代外部机械压力,实现对聚合物薄膜流变的有效驱动,可以避免压印光刻技术中机械压力引发的结构变形等问题,实现微纳米结构的保真复形。针对电...
关键词：微纳制造 图形转移 纳米压印 电驱动微纳结构模塑 麦克斯韦应力 
数值分析电诱导流变成型技术外部因素的影响被引量：1
《微纳电子技术》2012年第11期736-742,共7页田洪淼 邵金友 丁玉成 李欣 李祥明 
国家自然科学基金重大研究计划重点支持项目(90923040);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB724202);中央高校基本科研业务费资助项目(xjj20100145)
电场诱导聚合物流变成型作为一种新型的利用外部电场实现微纳米复型的技术得到越来越多的关注。为了深入理解复型本质与影响因素,提出了电流体动力学(EHD)理论与动网格方法耦合的模型,从数值模拟角度研究了电场诱导聚合物流变成型过程...
关键词：电场诱导聚合物流变成型技术 电流体动力学 动网格技术 微纳结构 数值仿真 
电场诱导微结构图形化形成机理及常温制备工艺被引量：6
《纳米技术与精密工程》2010年第6期504-509,共6页李欣 邵金友 田洪淼 刘红忠 丁玉成 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB724202);国家自然科学基金重大研究计划重点支持项目(90923040)
利用液体薄膜表面热扰动造成的表面张力失稳特性,提出一种常温条件下的非接触式电场诱导聚合物图形化技术.采用Navier-Stokes方程和线性稳定分析理论建立了薄膜流体的电场诱导力学模型,阐明了电场诱导过程中微结构的形成机理和周期特性...
关键词：电场诱导图形化 常温 微结构 紫外光固化型聚合物 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部