国家高技术研究发展计划(2004AA847060)

作品数：3被引量：11H指数：3
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相关机构：深圳大学中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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相关领域：理学更多>>
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Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究被引量：4
《光子学报》2006年第10期1542-1546,共5页范平 邵建达 易葵 齐红基 范正修 
国家863计划(2004AA847060);深圳市科技计划(200319)资助
采用离子束溅射在K9玻璃基底上沉积了不同厚度的Cu膜,利用Lambda-900分光光度计,测量了波长为310nm到1300nm范围内Cu膜的反射率和透射率.选定波长为310、350、400、430、550、632、800、1200nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随膜厚...
关键词：薄膜物理学 光学特性 尺寸效应 CU膜 最小连续膜厚 
Co和Cu薄膜电学特性和连续性特征的判据被引量：3
《中国有色金属学报》2006年第4期651-656,共6页范平 易葵 邵建达 齐红基 范正修 
国家高技术研究计划资助项目(2004AA847060);深圳市科技计划资助项目(200319)
采用离子束溅射沉积了不同厚度的Co膜和Cu膜,利用四电极法测量了薄膜的电阻率,从而得到了Co膜和Cu膜的电导率随薄膜厚度的变化关系。实验结果表明,Co膜和Cu膜的电学特性都具有明显的尺寸效应。比较了同时考虑表面散射和晶界散射的电导...
关键词：Co薄膜 Cu薄膜 金属材料 电学特性 
离子束溅射沉积不同厚度铜膜的光学常数研究被引量：4
《光学学报》2006年第6期943-947,共5页范平 邵建达 易葵 齐红基 范正修 
国家863计划(2004AA847060);深圳市科技计划(200319)资助课题
利用Lambda-900分光光度计对离子束溅射沉积不同厚度Cu膜测定的反射率和透射率,运用哈德雷方程,并考虑基片后表面的影响,对离子束溅射沉积的Cu膜光学常数进行了计算。结果表明,在同一波长情况下,膜厚小于100 nm的纳米Cu膜光学常数随膜...
关键词：薄膜光学 光学常数 铜膜 离子束溅射 
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