中国航空科学基金(20100858005)

作品数：3被引量：2H指数：1
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相关主题：体硅工艺硅铝硅微加速度计静电陀螺仪更多>>
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硅微静电悬浮加速度计实验研究
《传感器与微系统》2014年第3期34-36,共3页张汉蒸 韩丰田 孙搏谦 马高印 
国家自然科学基金资助项目(41074049);航空科学基金资助项目(20100858005)
硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率。设计了一种玻璃—硅—玻璃三明治结构、平行六面体状检测质量、体硅加工工艺、低量程的三轴硅微静电加速度计,分析了加速度...
关键词：微机电系统 微机械加速度计 静电加速度计 静电悬浮 
微静电陀螺仪的结构设计与工艺实现被引量：1
《纳米技术与精密工程》2011年第3期265-269,共5页王嫘 韩丰田 董景新 刘云峰 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA04Z312);国家自然科学基金资助项目(40174049);航空科学基金资助项目(20100858005)
为了探索微机械陀螺突破精度极限的新途径,设计了一种基于环形转子、体硅加工工艺、转子5自由度悬浮的硅微静电陀螺仪.采用玻璃-硅-玻璃键合的三明治式微陀螺结构,提出了包括双边光刻、反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀、...
关键词：微静电陀螺 体硅工艺 铝牺牲层 静电键合 
三轴硅微静电加速度计的实验研究被引量：1
《中国惯性技术学报》2011年第3期359-363,共5页王嫘 韩丰田 董景新 刘云峰 
自然科学基金(40174049);航空科学基金(20100858005)
静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、环形敏感质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,对加速度计...
关键词：硅微加速度计 静电悬浮 体硅工艺 三轴加速等计 
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