国家自然科学基金(60506017)

作品数：4被引量：4H指数：1
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Fabrication of Silicon Crystal-Facet-Dependent Nanostructures by Electron-Beam Lithography
《Journal of Semiconductors》2008年第6期1057-1061,共5页杨香 韩伟华 王颖 张杨 杨富华 
国家自然科学基金(批准号:60506017,60776059);国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA03Z303)资助项目~~
Silicon crystal-facet-dependent nanostructures have been successfully fabricated on a （100）-oriented silicon-oninsulator wafer using electron-beam lithography and the silicon anisotropic wet etching technique. This ...
关键词：silicon nanostructure anisotropic wet etching electron-beam lithography 
Detection of Terahertz Photon by GaAs-Based Single Electron Transistor at Low Temperatures
《Journal of Semiconductors》2007年第4期500-506,共7页韩伟华 汤圆美树 葛西诚也 
国家自然科学基金资助项目(批准号:60506017)~~
A reproducible terahertz （THz） photocurrent was observed at low temperatures in a Schottky wrap gate single electron transistor with a normal-incident of a CH3OH gas laser with the frequency 2.54THz. The change of s...
关键词：single electron transistors THz photon detection photon-assisted tunneling 
硅基单电子晶体管的制备
《微纳电子技术》2006年第2期73-79,共7页张杨 韩伟华 杨富华 
国家自然科学基金项目(60506017);中国科学院半导体研究所所长基金资助项目(2005DF01)
硅基单电子晶体管是一种极具潜力的新型量子器件。大多数硅基单电子晶体管的制备方法可以很好地与主流的CMOS工艺兼容。介绍了硅基单电子晶体管一些典型的具体制备工艺和方法以及该领域近年来的研究热点。
关键词：硅基单电子晶体管 制备方法 硅-绝缘体技术 电子束曝光 
微纳加工技术在光电子领域的应用被引量：4
《物理》2006年第1期51-55,共5页韩伟华 樊中朝 杨富华 
国家自然科学基金(批准号:60506017)资助项目
纳米光电子器件正在成为下一代光电子器件的核心.文章介绍了电子束光刻和电感耦合等离子体刻蚀为代表的微纳加工技术在光电子学器件中的应用,主要包括量子点激光器、量子点THz探测器和光子晶体器件.
关键词：纳米光电子器件 电子束光刻 电感耦合等离子体刻蚀 量子点器件 光子晶体 
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