中国科学院知识创新工程重要方向项目(H2K0206)

作品数：2被引量：2H指数：1
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电子束曝光机传输片机械手研制
《微细加工技术》2006年第1期13-15,26,共4页乔俊仙 王肇志 余国彬 
中国科学院知识创新工程重大项目资助(H2K0206)
以前的传输片机械手由于采用双浮动滑板结构来实现各个状态的定位,长时间使用易导致机械磨损、弹簧应力疲劳等,出现机械手碰撞片夹或抓不到片等现象,难以实现高精度、高可靠性的定位。研究中的传输片机械手采用卡尔登直线运动机构配合...
关键词：自动传输片 机械手 电子束曝光机 
电子束曝光机激光工件台测量系统研究被引量：2
《电子工业专用设备》2005年第10期19-23,共5页乔俊仙 王肇志 胡松 余国彬 
中国科学院知识创新工程重大项目资助(H2K0206)
由于电子束曝光机采用的修正技术,工件台的测量系统显得十分重要。介绍了电子束曝光机激光定位精密工件台的工作原理,其测量系统首次采用国际先进的HP5527双频激光干涉仪。对测量系统进行了详细的误差分析,在此基础上提出了系统误差的...
关键词：激光干涉仪 工件台 电子束曝光机 误差分析 
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