国家自然科学基金(50976067)

作品数：5被引量：7H指数：2
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能量平衡法静电驱动柔性振膜微泵特性分析被引量：3
《传感技术学报》2016年第1期15-20,共6页胡院林 梁鑫 王文 张彧 
国家自然科学基金项目(50976067);国家自然科学基金项目(51576123)
从能量平衡的角度建立了静电驱动柔性振膜微泵的平衡方程,基于对压缩过程中振膜动能的考虑,改进了最小能量法压缩模型,结合均匀压力载荷下圆薄膜大挠度形变理论对静电驱动柔性振膜微泵进行理论分析。对振膜与腔体壁面贴合的压缩过程中...
关键词：静电驱动微泵 能量平衡法 柔性薄膜形变 
静电驱动柔性振膜的吸合特性研究
《微纳电子技术》2015年第4期226-232,共7页张彧 王文 赵小林 丁桂甫 
国家自然科学基金资助项目(50976067)
对静电驱动柔性振膜的吸合特性进行了理论分析和实验观测。通过理论计算得到了静电驱动下柔性振膜与具有连续曲面的腔体实现完全吸合的吸合电压。完全吸合电压随振膜电极与腔体直径的偏差以及振膜初始应力的增大而增大。同时,通过实验...
关键词：静电驱动 柔性振膜 吸合特性 完全吸合电压 非中心对称 
柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压力性能的影响
《中国机械工程》2014年第1期92-96,102,共6页张彧 王文 赵小林 丁桂甫 
国家自然科学基金资助项目(50976067)
将最小能量法与均匀压力载荷下圆薄膜大变形半解析解相结合,分析了静电驱动柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压升性能的影响。微型阀容积的引入会导致静电驱动振膜微泵的压升出现一定程度的降低,但降低幅度远小于阀门容积对常规定排量泵的...
关键词：微泵 微型阀 静电驱动 柔性振膜 
静电驱动振模微泵的理论分析被引量：4
《传感器与微系统》2013年第1期25-28,32,共5页张彧 王文 赵小林 丁桂甫 
国家自然科学基金资助项目(50976067)
利用最小能量法和均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解相结合的方法,改进了静电驱动柔性振膜微泵的理论分析模型。计算结果表明:考虑圆薄膜的周向应变,利用均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解来预测振膜的形状,对微泵的性能有显著...
关键词：静电驱动 柔性振膜 微泵 圆薄膜大变形 
Si-PI低温键合黏合剂的研制与性能测试
《微纳电子技术》2012年第10期667-672,共6页张彧 王文 陈荣 赵小林 丁桂甫 
国家自然科学基金资助项目(50976067)
根据微机电系统(MEMS)在承压能力与化学稳定性方面的要求,在国外文献的基础上配制得到一种作为Si-聚酰亚胺(PI)低温键合黏合剂的芳香类热固性共聚酯(ATSP)。使用ATSP在不同条件下对Si-PI进行低温键合,确定了适合ATSP键合的温度和压力条...
关键词：低温键合 Si-聚酰亚胺(PI) 芳香类热固性共聚酯 拉伸强度 化学稳定性 
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