浙江省自然科学基金(Y4100312)

作品数：4被引量：23H指数：3
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相关作者：汪爱英孙丽丽方勇更多>>
相关机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江大学更多>>
相关期刊：《光学学报》《真空科学与技术学报》《中国表面工程》更多>>
相关主题：四面体非晶碳化学键椭偏法磁场分布磁场更多>>
相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术更多>>
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氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响被引量：3
《真空科学与技术学报》2012年第8期740-745,共6页蔡建 杨巍 柯培玲 汪爱英 方勇 
浙江省自然基金资助项目(Y4100312);浙江省科技项目(2010C13025-1;Y4100312);宁波市科技项目(2011B1016;2010D10015)
利用自主研制的45°单弯曲阴极电弧沉积系统,通过改变Ar流量（2,5以及10 ml/min）,在p型（100）硅基底上制备了四面体非晶碳膜。借助表面轮廓仪测定薄膜厚度和粗糙度变化;采用X射线光电子谱获得薄膜微结构信息,利用残余应力仪和摩擦磨...
关键词：单弯曲阴极真空电弧 氩气流量 四面体非晶碳膜 应力 sp3含量 
椭偏法表征四面体非晶碳薄膜的化学键结构被引量：12
《光学学报》2012年第10期298-304,共7页李晓伟 周毅 孙丽丽 汪爱英 
浙江省自然科学基金(Y4100312);宁波市重大科技专项(2011B1016);宁波市科技项目(2010D10015;2010A0203)资助课题
采用自主研制的双弯曲磁过滤阴极真空电弧(FCVA)技术,在不同衬底负偏压下制备了四面体非晶碳(ta-C)薄膜。通过分光光度计和椭偏(SE)联用技术精确测量了薄膜厚度,重点采用椭偏法对不同偏压下制备的ta-C薄膜sp3 C键和sp2 C键结构进行了拟...
关键词：薄膜 化学键 椭偏法 磁过滤阴极真空弧 四面体非晶碳 
基体负偏压对四面体非晶碳膜结构和性能的影响被引量：4
《中国表面工程》2011年第6期62-67,F0003,共7页蔡建 杨巍 代伟 柯培玲 汪爱英 
浙江省自然科学基金(Y4100312)
采用自主研制的45°单弯曲磁过滤阴极电弧沉积系统于Si基体表面制备了四面体非晶碳(ta-C)膜,研究了基体负偏压对薄膜沉积速率、成分、力学性能及摩擦学性能的影响规律。结果表明,随基体负偏压升高,ta-C膜sp3键含量呈先增后减的变化趋势,...
关键词：单弯曲阴极真空电弧 偏压 四面体非晶碳膜 SP3 
新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算被引量：4
《真空科学与技术学报》2010年第6期614-620,共7页李洪波 孙丽丽 吴国松 代伟 周毅 汪爱英 
中国科学院重大装备研制项目(YZ200833);浙江省自然科学基金项目(Y4100312)
本文用ANSYS软件对新型的45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统中的磁场分布进行了模拟计算,并结合等离子体传输和电弧源弧斑运行稳定性进行了分析。在建立的数学模型基础上,分别研究了磁过滤弯管磁场空间分布对拟定的不同出射方向上的...
关键词：双弯曲磁过滤阴极电弧 磁场分布 有限元法 ta-C薄膜 
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