国家自然科学基金(10772086)

作品数:5被引量:7H指数:1
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相关作者:康新何小元苏岩施芹裘安萍更多>>
相关机构:南京理工大学东南大学无锡中微高科电子有限公司南京航空航天大学更多>>
相关期刊:《机械工程学报》《Acta Mechanica Sinica》《计量学报》《Journal of Southeast University(English Edition)》更多>>
相关主题:硅微陀螺仪品质因数MICROSTRUCTUREIMAGE_PROCESSINGEVALUATION更多>>
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Nonlinear static characteristics of piezoelectric unimorph bending micro actuators被引量:1
《Journal of Southeast University(English Edition)》2010年第4期603-607,共5页康新 董萼良 章定国 
The National Natural Science Foundation of China(No.10772086,10772085)
The nonlinear static characteristic of a piezoelectric unimorph cantilever micro actuator driven by a strong applied electric field is studied based on the couple stress theory.The cantilever actuator consists of a pi...
关键词:nonlinear static characteristic piezoelectric unimorph micro actuator couple stress theory Rayleigh-Ritz method 
Non-contact evaluation of the resonant frequency of a microstructure using ultrasonic wave被引量:1
《Acta Mechanica Sinica》2010年第2期317-323,共7页X. Kang X. Y. He C.J. Tay C. Quan 
supported by the National Natural Science Foundation of China(10772086 and 10727201);the National University of Singapore(R-265-000-140-112)
This paper presents a novel non-contact method for evaluating the resonant frequency of a microstructure, Firstly, the microstructure under test is excited by ultrasonic waves. This excitation method does not impose a...
关键词:NON-CONTACT Microstructure· Resonant frequency Ultrasonic wave Image processing 
显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用
《计量学报》2009年第4期302-306,共5页孙伟 刘雯雯 康新 何小元 
国家自然科学基金(10772086,10727201);国家重点基础研究专项经费(2006CB300404)
鉴于三维形貌在微机电系统(MEMS)测试领域的重要地位及显微干涉法在光学计量领域的高精度性能,开展了显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用研究.基于小波变换极高的去噪性能及处理无载波条纹的优点,包裹相位采用连续小波变换的方...
关键词:计量学 显微干涉法 微机电系统 三维形貌 微梁 手机芯片 
Method for eliminating zero-order image in digital holography
《Journal of Southeast University(English Edition)》2009年第1期113-116,共4页刘雯雯 康新 戴宜全 何小元 
The Natural Science Foundation of Jiangsu Province (No.BK2006102);the National Natural Science Foundation of China(No.10772086)
For eliminating the zero-order image in digital holography, a new method using the differential of the hologram intensity instead of the hologram itself for numerical reconstruction is proposed. This method is based o...
关键词:digital holography zero-order image digital image processing Fresnel integral 
硅微陀螺仪器件级真空封装被引量:5
《机械工程学报》2009年第2期243-246,共4页施芹 丁荣峥 苏岩 裘安萍 
国家自然科学基金(10572039,10772086);江苏省自然科学基金(BK2005064);江苏省青蓝工程支持计划资助项目
为实现硅微陀螺仪真空封装以提高其性能,对硅微陀螺仪器件级真空封装技术进行研究。首先,设计硅微陀螺仪的专用陶瓷封装管壳,并采用钎焊技术进行封帽,采用金锑合金为焊料以满足封装过程中的高温。分析除气工艺对硅微陀螺仪品质因数的影...
关键词:硅微陀螺仪 器件级真空封装 品质因数 除气工艺 
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