江苏省自然科学基金(00KJB430001)

作品数：2被引量：7H指数：1
导出分析报告
相关作者：陆新华叶超辛煜许圣华江美福更多>>
相关机构：苏州大学更多>>
相关期刊：《物理学报》更多>>
相关主题：红外吸收光谱A-CHFECR-CVD更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
源气体对沉积的a-C∶F∶H薄膜结构的影响被引量：6
《物理学报》2002年第8期1865-1869,共5页辛煜 宁兆元 程珊华 陆新华 江美福 许圣华 叶超 黄松 杜伟 
江苏省自然科学基金 (批准号 :0 0KJB43 0 0 0 1);国家自然科学基金 (批准号 :10 175 0 48)资助的课题~~
采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (MWPECRCVD)方法 ,使用不同的源气体 (CHF3 CH4 ,CHF3 C2 H2 ,CHF3 C6 H6 )体系制备了a C∶F∶H薄膜 .由于CH4 ,C2 H2 ,C6 H6 气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上...
关键词：源气体 a-C:F:H薄膜 结构 氟化非晶碳膜 电子回旋共振化学气相沉积 红外吸收光谱 
微波ECR-CVD法制备a-C:F:H膜的红外吸收及其光学带隙被引量：1
《材料科学与工程》2002年第2期163-165,176,共4页甘肇强 陆新华 
江苏省自然科学基金资助项目(0 0KJB430 0 0 1 )
改变CHF3 CH4 流量比R =[CHF3] ([CHF3]+[CH4 ]) ,采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (MWECR CVD)方法沉积a C :F :H薄膜。a C :F :H薄膜的结构和光学带隙使用傅立叶变换红外光谱和紫外 可见光谱来表征。红外结果表明 ,在低流...
关键词：微波ECR-CVD法 光学带隙 a-C:F:H薄膜 傅立叶变换红外光谱 紫外可见光谱 类金刚石碳膜 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部