甘肇强

作品数：25被引量：71H指数：5
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供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
发文主题：脉冲激光沉积铁电薄膜CHF紫外可见光谱溶胶-凝胶法制备更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《光学学报》《功能材料》《物理学报》《功能材料与器件学报》更多>>
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溶胶-凝胶法制备钛酸锶铅薄膜和多层膜及其介电性质被引量：4
《功能材料》2006年第2期231-233,237,共4页王季魁 沈明荣 方亮 甘肇强 
国家自然科学基金资助项目(10204016)
采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了多种不同组分的(Pb1-xSrx)TiO3(PST)(x=0.45、0.50、0.55、0.60、0.65)均匀薄膜和多层膜,并研究了它们的介电性质。发现均匀薄膜在x=0.55(PST55)时有最大的介电常数,10kHz下为879,损耗为0.02...
关键词：溶胶-凝胶法 钛酸锶铅 多层膜 介电性质 
CF_4气体ICP等离子体中的双温电子特性被引量：2
《物理学报》2004年第10期3394-3397,共4页黄松 宁兆元 辛煜 甘肇强 
使用朗谬尔探针方法研究了低压CF4 气体感应耦合等离子体 (ICP)的放电特性 .结果表明 ,CF4 等离子体的电子呈现双温分布 :一类是密度低、能量高的快电子 ,另一类是密度高、能量低的慢电子 .快电子温度The、慢电子温度Tce以及它们的平均...
关键词：电子温度 电子特性 粒子碰撞 感应耦合等离子体 气体 上升 平均 CF4 射频 放电特性 
脉冲激光沉积Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3、Pb_(0.5)Ba_(0.5)TiO_3和Pb_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜及其介电性质被引量：1
《功能材料》2004年第5期603-605,609,共4页徐华 沈明荣 方亮 甘肇强 
国家自然科学基金资助项目(10204016)
　采用脉冲激光沉积法,在Pt/Ti/SiO2/Si基底上分别制备厚度为350nm的Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)、Pb0.5Ba0.5TiO3(PBT)和Pb0.5Sr0.5TiO3(PST)薄膜并研究了它们的介电性质。XRD显示,在相同的制备条件下三者具有不同的择优取向,PST具有(110)择...
关键词：脉冲激光 铁电薄膜 介电性质 
烘烤温度对溶胶-凝胶法制备镧掺杂钛酸铋薄膜结构与铁电性质的影响被引量：13
《物理学报》2004年第7期2373-2377,共5页王强 沈明荣 侯芳 甘肇强 
国家自然科学青年基金 (批准号 :10 2 0 40 16)资助的课题~~
采用溶胶 凝胶法 ,在保持薄膜结晶温度和有机物分解温度相同情况下 ,发现烘烤温度 (即溶剂的挥发温度 )对镧掺杂钛酸铋薄膜的晶体结构、表面形貌和铁电性质均产生重要影响 .在较低烘烤温度下得到的薄膜 (117)择优取向明显 .但随着烘烤...
关键词：溶胶-凝胶法 烘烤温度 铁电薄膜 钛酸铋 镧掺杂 
氧气氛低温退火Pt/Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3Pt引起的低频介电弛豫效应被引量：5
《物理学报》2002年第12期2896-2900,共5页董正高 沈明荣 徐闰 甘肇强 葛水兵 
江苏省青年科技基金 (批准号 :BQ980 3 7)资助的课题~~
研究了在不同温度区间氧气氛和氮气氛退火后处理对Pt Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 Pt介电特性的影响 .经过高温 5 5 0℃氮气退火处理后 ,再放入 35 0℃的氧气中退火 ,发现样品的介电特性出现了非常明显的低频弛豫现象 ,并且这种低频弛豫现象在 3...
关键词：氧气氛 低温退火 Pt/Ba0.8Sr0.2TiO3/Pt 低频介电弛豫效应 脉冲激光沉积 动态随机存储器 钛酸锶钡薄膜 铂 
钛酸镧铅薄膜的介电、铁电性能研究被引量：5
《功能材料》2002年第4期403-404,共2页甘肇强 
采用溶胶 凝胶法在Si衬底上制备了钛酸镧铅薄膜。通过对膜进行XRD、SEM、介电和铁电性能测试 ,研究了退火条件和掺镧量对薄膜性能的影响 ,结果发现在 60 0℃下退火 1h的PLT薄膜呈现钙钛矿结构 ;常温下 ,薄膜的矫顽场和剩余极化强度都...
关键词：铁电薄膜 钛酸镧铅 溶胶-凝胶法 铁电性能 介电性能 
微波ECR-CVD法制备a-C:F:H膜的红外吸收及其光学带隙被引量：1
《材料科学与工程》2002年第2期163-165,176,共4页甘肇强 陆新华 
江苏省自然科学基金资助项目(0 0KJB430 0 0 1 )
改变CHF3 CH4 流量比R =[CHF3] ([CHF3]+[CH4 ]) ,采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (MWECR CVD)方法沉积a C :F :H薄膜。a C :F :H薄膜的结构和光学带隙使用傅立叶变换红外光谱和紫外 可见光谱来表征。红外结果表明 ,在低流...
关键词：微波ECR-CVD法 光学带隙 a-C:F:H薄膜 傅立叶变换红外光谱 紫外可见光谱 类金刚石碳膜 
氟化非晶碳膜的光学带隙和伏安特性
《功能材料》2002年第3期283-285,共3页黄峰 康健 杨慎东 叶超 程珊华 宁兆元 甘肇强 
用苯 (C6H6)和三氟甲烷 (CHF3 )混合气体作源气体 ,采用永磁微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (MWECR CVD)技术 ,制备了氟化非晶碳膜 (a C∶F)。光学带隙的结果表明它与膜中的C、F元素含量和键结构都有关系 ;伏安特性的测量表明a C...
关键词：氟化非晶碳膜 光学带隙 伏安特性 超大规模集成电路 
微波功率对a-C:F薄膜结构和光学性质的影响
《材料科学与工程》2001年第4期32-36,共5页黄峰 程珊华 宁兆元 杨慎东 叶超 甘肇强 
用苯 (C6H6)和四氟甲烷 (CF4 )混合气体作源气体 ,用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术制备了含氟非晶碳膜 (a C :F)。着重讨论了输入的微波功率对成膜结构和性质的影响。我们对沉积的膜作了膜厚、扫描电子显微表面形貌 (SEM)...
关键词：a-C:F膜 微波功率 结构 光学性质 含氟非晶碳膜 微波电子回旋光振等离子化学气相沉积 
不同CHF_3/CH_4流量比下沉积a-C∶F∶H薄膜键结构的红外分析被引量：14
《物理学报》2001年第12期2492-2496,共5页辛煜 宁兆元 甘肇强 陆新华 方亮 程珊华 
通过微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法使用CH4 CHF3源气体制备a C∶F∶H薄膜 .红外结果表明 ,a C∶F∶H薄膜随着流量比R =[CHF3] [CHF3]+[CH4])的变化存在结构上的演变 ,R <6 4%时 ,薄膜主要是以类金刚石 (DLC)特征的结构为主 ...
关键词：a-C:F:H薄膜 傅里叶变换红外光谱 紫外可见光谱 结构 碳氟氢薄膜 CHF3/CH4 流量比 甲烷 
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