黄峰

作品数：5被引量：22H指数：3
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供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）物理学系更多>>
发文主题：超大规模集成电路真空退火光学带隙A-C:F微波功率更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《功能材料》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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氟化非晶碳膜的光学带隙和伏安特性
《功能材料》2002年第3期283-285,共3页黄峰 康健 杨慎东 叶超 程珊华 宁兆元 甘肇强 
用苯 (C6H6)和三氟甲烷 (CHF3 )混合气体作源气体 ,采用永磁微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (MWECR CVD)技术 ,制备了氟化非晶碳膜 (a C∶F)。光学带隙的结果表明它与膜中的C、F元素含量和键结构都有关系 ;伏安特性的测量表明a C...
关键词：氟化非晶碳膜 光学带隙 伏安特性 超大规模集成电路 
a-C:F薄膜的热稳定性与光学带隙的关联被引量：8
《物理学报》2002年第6期1321-1325,共5页杨慎东 宁兆元 黄峰 程珊华 叶超 
以CF4和C6H6的混合气体作为气源 ,在微波电子回旋共振化学气相沉积 (ECR CVD)装置中制备了氟化非晶碳薄膜 (a C :F) ,并在N2 气氛中作了退火处理以考察其热稳定性 .通过傅里叶变换红外吸收谱和紫外 可见光谱获得了薄膜中CC双键的相对...
关键词：a-C:F薄膜 氟化非晶碳膜 光学带隙 退火温度 热稳定性 超大规模集成电路 
真空退火对氟化非晶碳薄膜结构的影响被引量：13
《物理学报》2002年第6期1383-1387,共5页黄峰 程珊华 宁兆元 杨慎东 叶超 
国家自然科学基金 (批准号 :10 175 0 48)资助的课题~~
在苯 (C6H6)和四氟化碳 (CF4)混合气体中 ,用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术 (ECR CVD)在不同功率下制备了氟化非晶碳膜 (a C :F) ,为了检测膜的热稳定性对其进行了真空退火处理 ,测量了退火前后膜厚的变化率 ,并用傅里叶变...
关键词：氟化非晶碳薄膜 结构 ECR-CVD a-C:F薄膜 真空退火 超大规模集成电路 
等离子体增强反应蒸发沉积的氟掺杂氧化铟薄膜的性质被引量：3
《物理学报》2002年第3期668-673,共6页程珊华 宁兆元 黄峰 
国家自然科学基金 (批准号 :10 175 048)资助的课题~~
采用直流辉光CF4 O2 等离子体增强反应蒸发方法沉积了氟掺杂氧化铟透明导电薄膜 ,经过真空退火处理薄膜的电阻率达到 1 8× 10 - 3 Ω·cm ,透光率高于 80 %.研究了掺氟量和退火温度对薄膜电阻率和透光率的影响 ,结果表明 :氟的掺入增...
关键词：透明导电薄膜 氟掺杂 等离子体增强反应蒸发沉积 氧化铟薄膜 导电性能 光学性能 
微波功率对a-C:F薄膜结构和光学性质的影响
《材料科学与工程》2001年第4期32-36,共5页黄峰 程珊华 宁兆元 杨慎东 叶超 甘肇强 
用苯 (C6H6)和四氟甲烷 (CF4 )混合气体作源气体 ,用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术制备了含氟非晶碳膜 (a C :F)。着重讨论了输入的微波功率对成膜结构和性质的影响。我们对沉积的膜作了膜厚、扫描电子显微表面形貌 (SEM)...
关键词：a-C:F膜 微波功率 结构 光学性质 含氟非晶碳膜 微波电子回旋光振等离子化学气相沉积 
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