教育部科学技术研究重点项目(109102-A20202)

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集成微泵式微流控芯片的设计与测试被引量：1
《中国科学（E辑）》2005年第5期549-560,共12页傅新 谢海波 杨华勇 贾志舰 方群 
国家自然科学基金重点项目(批准号:50335010);国家自然科学基金(批准号:50175098);教育部科学技术研究重点项目(批准号:109102-A20202)资助
介绍了集成微型无阀泵的微流控芯片的结构及工作原理,针对微型无阀泵进行了数学建模及系统仿真,测试了集成化微泵的流动特性,确定了基本控制参数,并将仿真与试验结果进行了比较分析.将集成化芯片进行了样品检验测试,证明了微泵在微量化...
关键词：微流控芯片 测试 微型无阀泵 设计 泵式 工作原理 系统仿真 数学建模 流动特性 控制参数 样品检验 比较分析 试验结果 实用价值 检测过程 微量化学 集成化 微泵 
基于玻璃湿法刻蚀的微流控器件加工工艺研究被引量：11
《机械工程学报》2003年第11期123-129,共7页谢海波 傅新 刘玲 杨华勇 徐东 
国家'863'高技术发展计划(2002AA404220);国家自然科学基金(50175098);教育部科学技术研究重点基金(109102-A20202)
介绍了以玻璃为基体材料的微加工工艺流程,重点研究了玻璃湿法刻蚀工艺,选择多种不同成分的刻蚀剂进行了对比性刻蚀试验,同时研究了刻蚀温度、搅拌方式和清洗间隔时间等多种刻蚀条件对刻蚀效果的影响,研究主要以高刻蚀速率的深度刻蚀以...
关键词：微流控器件 加工工艺 玻璃 湿法刻蚀 MEMS 微机电系统 
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