国家高技术研究发展计划(2006AA05Z422)

作品数：4被引量：19H指数：3
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Si基薄膜太阳电池绒面ZGO透明导电膜的研究被引量：8
《光电子．激光》2010年第7期1018-1020,共3页隋妍萍 姜元建 蔡宏琨 陶科 王林申 赵静芳 张德贤 
国家高技术研究发展计划资助项目(2006AA05Z422);天津市科技攻关计划资助项目(06YFGPGX08000);天津市应用基础及前沿技术研究计划资助项目(08JCYBJC13100)
采用孪生对靶直流磁控溅射的方法在室温下制备高质量的Ga掺杂ZnO(ZGO)透明导电薄膜,用HCl腐蚀的方法获得满足光散射特性的绒面ZGO薄膜。制备的ZGO样品为具有六角纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)方向的择优取向。腐蚀后,绒面ZGO薄膜的晶粒...
关键词：Ga掺杂ZnO(ZGO) 绒面ZGO 对靶磁控溅射 太阳电池 
柔性衬底硅薄膜太阳电池中ZGO薄膜的应用被引量：4
《光电子．激光》2009年第6期745-748,共4页张德贤 姜元建 蔡宏昆 薛颖 陶科 王林申 赵敬芳 隋妍萍 
国家高技术研究发展计划资助项目(2006AA05Z422);天津市科技攻关计划资助项目(06YFGPGX08000);天津市应用基础及前沿技术研究计划资助项目(08JCYBJC13100)
在室温下,采用孪生对靶直流磁控溅射工艺,在玻璃衬底上制备出高质量的Ga掺杂ZnO(ZnO:Ga)透明导电膜。研究了薄膜厚度对薄膜的结构、光学及电学特性的影响。制备的ZnO:Ga是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜,最佳择优取向为(002)方向。随着...
关键词：Gu掺杂ZnO(ZnO:Ga) 磁控溅射 柔性衬底 太阳电池 
柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池量子效率的研究被引量：5
《人工晶体学报》2009年第2期407-410,415,共5页张德贤 薛颖 蔡宏琨 陶科 姜元建 赵敬芳 王林申 隋妍萍 
国家高技术研究发展计划863(2006AA05Z422);天津市科技攻关计划(06YFGPGX08000);天津市应用基础及前沿技术研究计划(08JCYBJC13100)
量子效率是太阳电池对光的吸收能力的评定标准之一。本文通过对柔性衬底倒结构n-i-p非晶硅薄膜太阳电池量子效率的测量,同时结合本征材料吸收特性,讨论了衬底温度和反应压强对太阳电池量子效率的影响。结果表明:本征非晶硅薄膜的吸收特...
关键词：柔性衬底 n-i-p太阳电池 量子效率 非晶硅薄膜 
RF-PECVD制备微晶硅薄膜的X射线衍射研究被引量：3
《人工晶体学报》2007年第3期545-549,共5页蔡宏琨 张德贤 何青 赵飞 陶科 席强 孙云 
国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2006AA05Z422);天津市科技发展计划公关培育项目(06YFGPGX08000)
采用X射线衍射(XRD)技术连续扫描法和薄膜衍射法对RF-PECVD制备的微晶硅薄膜结构进行了研究。改变硅烷浓度和反应功率,控制薄膜的生长速率,已达到制备不同材料的目的。根据硅基薄膜的电学特性和XRD测试,随着反应功率的增加,硅基薄膜的...
关键词：X射线衍射(XRD) 氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜 氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜 晶粒尺寸 
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